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公开(公告)号：CN106257238B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN201610391466.8
申请日：2016-06-06
申请人： 恩智浦美国有限公司
发明人： 邵鹏 , 安德鲁·C·麦克尼尔
IPC分类号： G01C19/5621
摘要： 本发明提供一种MEMS装置，该MEMS装置包括耦合一对驱动块的驱动弹簧系统和耦合一对感测块的感测弹簧系统。该驱动弹簧系统包括受约束的刚性梁和使该对驱动块互连的弯曲部。响应于该驱动块的驱动移动，该弯曲部使该受约束的刚性梁能够围绕该刚性梁的中心铰接点枢转移动，从而实现该驱动块的反相驱动运动并抑制该驱动块的同相运动。该感测弹簧系统包括对角地朝向的刚性梁和弹簧系统，该弹簧系统实现该感测块的反相感测运动同时抑制该感测块的同相运动。插入在该驱动块与该感测块之间的耦合块使该驱动块的该驱动运动从该感测块的该感测运动解耦。
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公开(公告)号：CN118168709A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202311532632.8
申请日：2023-11-16
申请人： 恩智浦美国有限公司
发明人： 安德鲁·C·麦克尼尔 , 查德·道森 , 马修·韦恩·马迪曼
摘要： 一种用于读取压力的方法可包括：通过第一装置读取压力传感器的加速度，其中所述压力传感器囊封在媒体中，且其中所述加速度改变所述压力传感器的读数；以及通过第二装置读取来自所述压力传感器的压力读数。如果符合输出准则，那么产生经调整的压力读数。一种用于读取压力的系统包括第一装置，所述第一装置耦合到所述压力传感器且被配置成读取所述压力传感器的加速度。第二装置可被配置成从所述压力传感器读取压力，其中如果符合输出准则，那么基于测得加速度而调整所述压力传感器的测得压力，以产生经调整的压力读数。输出装置被配置成接收所述第二装置的输出且输出输出压力读数。
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公开(公告)号：CN118777638A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410403280.4
申请日：2024-04-03
申请人： 恩智浦美国有限公司
发明人： 汤俊 , 李经纶 , 安德鲁·C·麦克尼尔 , 阿龙·A·盖斯贝格尔
IPC分类号： G01P15/08 , G01P15/125
摘要： 一种MEMS装置包括衬底、一组弹簧和悬置在所述衬底上方且通过所述弹簧联接到所述衬底的质量块。每一弹簧包括所述衬底上的对应的锚定件和远离所述锚定件延伸的横杆。每一横杆具有：固定端，其通过第一连杆在所述横杆的靠近所述锚定件的一端处联接到所述锚定件；及自由端，其通过第二连杆在所述横杆的远离所述锚定件的一端处联接到所述质量块。所述锚定件围绕所述质量块的中心对称地布置。所述质量块相对于所述衬底竖直地平移，且当所述质量块朝向所述衬底的竖直位移达到预定义值时，每一弹簧的所述自由端接触所述衬底且防止所述质量块接触所述衬底。
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公开(公告)号：CN110426534A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201910343104.5
申请日：2019-04-25
申请人： 恩智浦美国有限公司
发明人： 安德鲁·C·麦克尼尔
IPC分类号： G01P15/125
摘要： 一种惯性传感器包括：可移动元件，其具有相对于旋转轴不对称的质量块；和锚定件，其附接到基板。第一弹簧系统和第二弹簧系统与所述基板的表面间隔开。所述第一弹簧系统和所述第二弹簧系统中的每一个包括一对梁、插入于所述梁之间的中心弯曲部和一对末端弯曲部。所述末端弯曲部中的一个末端弯曲部互连在所述梁中的一个梁与所述锚定件中的一个锚定件之间，且另一末端弯曲部互连在所述梁中的一个梁与所述可移动元件之间。所述梁相对于所述中心弯曲部和所述末端弯曲部抗变形。所述第一弹簧系统和所述第二弹簧系统有助于所述可移动元件围绕所述旋转轴的旋转运动，且所述弹簧系统有助于所述可移动元件基本上平行于所述基板的所述表面的平移运动。
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公开(公告)号：CN110426533B
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN201910342867.8
申请日：2019-04-25
申请人： 恩智浦美国有限公司
发明人： 安德鲁·C·麦克尼尔
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08 , B81B3/00
摘要： 一种用于MEMS装置的弯曲部包括细长梁和从所述细长梁的侧壁向外延伸的突起元件。MEMS惯性传感器包括与衬底的表面间隔开的可移动元件、附接到所述衬底的锚定件和弹簧系统。所述弹簧系统包括第一梁和第二梁、所述第一梁与所述第二梁之间的中心弯曲部、在所述第一梁的末端与所述锚定件之间互连的第一末端弯曲部和在所述第二梁的末端与所述可移动元件之间互连的第二末端弯曲部。所述末端弯曲部中的每一个包括：所述细长梁，其具有第一末端和第二末端及限定所述细长梁的纵向尺寸的所述侧壁；和所述突起元件，其从所述细长梁的所述侧壁延伸，所述突起元件远离所述梁的所述第一末端和所述第二末端位移。
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公开(公告)号：CN110426534B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN201910343104.5
申请日：2019-04-25
申请人： 恩智浦美国有限公司
发明人： 安德鲁·C·麦克尼尔
IPC分类号： G01P15/125
摘要： 一种惯性传感器包括：可移动元件，其具有相对于旋转轴不对称的质量块；和锚定件，其附接到基板。第一弹簧系统和第二弹簧系统与所述基板的表面间隔开。所述第一弹簧系统和所述第二弹簧系统中的每一个包括一对梁、插入于所述梁之间的中心弯曲部和一对末端弯曲部。所述末端弯曲部中的一个末端弯曲部互连在所述梁中的一个梁与所述锚定件中的一个锚定件之间，且另一末端弯曲部互连在所述梁中的一个梁与所述可移动元件之间。所述梁相对于所述中心弯曲部和所述末端弯曲部抗变形。所述第一弹簧系统和所述第二弹簧系统有助于所述可移动元件围绕所述旋转轴的旋转运动，且所述弹簧系统有助于所述可移动元件基本上平行于所述基板的所述表面的平移运动。
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公开(公告)号：CN110426533A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201910342867.8
申请日：2019-04-25
申请人： 恩智浦美国有限公司
发明人： 安德鲁·C·麦克尼尔
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08 , B81B3/00
摘要： 一种用于MEMS装置的弯曲部包括细长梁和从所述细长梁的侧壁向外延伸的突起元件。MEMS惯性传感器包括与衬底的表面间隔开的可移动元件、附接到所述衬底的锚定件和弹簧系统。所述弹簧系统包括第一梁和第二梁、所述第一梁与所述第二梁之间的中心弯曲部、在所述第一梁的末端与所述锚定件之间互连的第一末端弯曲部和在所述第二梁的末端与所述可移动元件之间互连的第二末端弯曲部。所述末端弯曲部中的每一个包括：所述细长梁，其具有第一末端和第二末端及限定所述细长梁的纵向尺寸的所述侧壁；和所述突起元件，其从所述细长梁的所述侧壁延伸，所述突起元件远离所述梁的所述第一末端和所述第二末端位移。
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