公开(公告)号：CN102598272B

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201080018681.4

申请日：2010-04-29

申请人： 思利科材料有限公司

发明人： K·欧纳杰拉 ,  M·瓦莱蕾西亚卡 ,  A·儒伊尼 ,  M·霍伊尔 ,  O·西德克海尔 ,  A·布洛斯 ,  F·基施特

IPC分类号： H01L29/06 ,  H01L21/66 ,  C01B33/037

CPC分类号： C01B33/037 ,  C30B11/00 ,  C30B11/002 ,  C30B11/003 ,  C30B29/06 ,  C30B35/007

摘要： 本发明提供一种用于确定UMG-Si原料批中的硼和磷浓度的质量控制方法。通过来自于UMG-Si原料批的熔化UMG-Si的定向固化形成硅测试锭。测量所述硅测试锭的自上而下的电阻率。然后，映射所述硅测试锭的电阻率分布。基于所述硅测试锭的所述电阻率分布，计算所述UMG-Si硅原料批的磷和硼浓度。此外，可以在多炉腔晶体生长器中同时生长多个测试锭，其中每个测试锭对应于一个UMG-Si原料批。