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公开(公告)号：CN1149190A
公开(公告)日：1997-05-07
申请号：CN95105684.0
申请日：1995-06-20
Applicant: 德克萨斯仪器股份有限公司
IPC: G12B3/06
CPC classification number: B81C1/0096 , B81C1/00968 , B81C2201/117 , G02B26/0841 , H01H1/0036
Abstract: 一种使微型机械装置(30)的接触部件(11，17)解脱粘连的方法，使装置暴露于具有表面活性剂(32)的低表面张力液体或超临界流体(62)以避免对装置(30)的易碎部件的损伤。控制暴露条件以得到最佳结果，但不损伤装置。
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