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公开(公告)号：CN118296345A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202311568419.2
申请日：2023-11-22
Applicant: 张江国家实验室
IPC: G06F18/213 , G01B15/00 , G06F18/214 , G06F30/27 , G06N20/00
Abstract: 本申请实施例提供了一种关键尺寸的测量方法、装置、设备及存储介质，涉及通信技术领域，该方法包括：获取待测量物体的散射图；待测量物体的散射图是X射线经待测量物体被散射后形成的；从待测量物体的散射图中提取待测量物体的特征信号；基于待测量物体的特征信号，通过目标模型确定待测量物体的关键尺寸；其中，目标模型是通过仿真样本训练出初始模型，再经测量样本对初始模型再次训练后得到的。本申请实施例中，通过仿真样本训练初始模型，可以得到泛化能力较好的基础模型；再利用待测量物体对初始模型再次进行训练，得到目标模型，能够有效改善由于测量系统的随机干扰带来的预测偏差的问题。
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公开(公告)号：CN118297829B
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202311752571.6
申请日：2023-12-18
Applicant: 张江国家实验室
Abstract: 本申请实施例提供了一种宇宙线去除方法、装置、设备及存储介质，涉及信息处理技术领域，该方法为：对待测物体进行多次短曝光，获得多张第一周期信号图像，第一周期信号图像包含多个周期单元；对多张第一周期信号图像进行叠加处理，得到第二周期信号图像并确定第二周期信号图像中各周期单元的光斑掩膜分布；基于所述光斑掩膜分布，确定第一周期信号图像中的光斑掩膜中是否存在宇宙线，从而确定第一周期信号图像是否受宇宙线影响；将未受宇宙线影响的各第一周期信号图像进行叠加，得到针对待测物体的目标周期信号图像。通过对待测物体进行多次短曝光，可以得到多张弱信号的周期信号图像，较容易地校测出宇宙线噪声。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118294484A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202311561294.0
申请日：2023-11-21
Applicant: 张江国家实验室
IPC: G01N23/201
Abstract: 本申请提供一种掠入射小角度X射线散射布拉格峰定位方法，包括：接收以第一角度掠入射至二维周期结构样品的X射线，其中，二维周期结构样品包括多个粒子；确定二维周期结构样品的实空间结构参数；根据实空间结构参数确定二维周期结构样品中的粒子所对应的第一散射矢量分量和第二散射矢量分量，其中，第一散射矢量和第二散射矢量相互正交；根据第一散射矢量分量和所述第二散射矢量分量，确定第三散射矢量分量和第一散射角度信息，其中，第三散射矢量分量与第一散射矢量、第二散射矢量正交，第一散射角度信息指的是布拉格峰对应的散射角度信息。该方案，能够实现针对二维周期分布结构样品的GISAXS的布拉格峰的准确定位。
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公开(公告)号：CN118294484B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202311561294.0
申请日：2023-11-21
Applicant: 张江国家实验室
IPC: G01N23/201
Abstract: 本申请提供一种掠入射小角度X射线散射布拉格峰定位方法，包括：接收以第一角度掠入射至二维周期结构样品的X射线，其中，二维周期结构样品包括多个粒子；确定二维周期结构样品的实空间结构参数；根据实空间结构参数确定二维周期结构样品中的粒子所对应的第一散射矢量分量和第二散射矢量分量，其中，第一散射矢量和第二散射矢量相互正交；根据第一散射矢量分量和所述第二散射矢量分量，确定第三散射矢量分量和第一散射角度信息，其中，第三散射矢量分量与第一散射矢量、第二散射矢量正交，第一散射角度信息指的是布拉格峰对应的散射角度信息。该方案，能够实现针对二维周期分布结构样品的GISAXS的布拉格峰的准确定位。
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公开(公告)号：CN118296344B
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202311566807.7
申请日：2023-11-22
Applicant: 张江国家实验室
IPC: G06F18/213 , G01B15/00 , G06F18/10 , G06F30/27 , G06N20/00
Abstract: 基于机器学习加速的X射线小角散射测量方法及装置，用以在确定样品关键尺寸时加快仿真计算散射信号的速度，进而减少求解关键尺寸所花费的时间。该方法包括：通过测量系统获取待测样本的测量散射图；测量散射图为在不同位置关系下测量系统的X射线经过待测样本被散射后形成的散射图；所述位置关系为X射线与所述待测样本的方位角和入射角；解析所述待测样本的测量散射图中散射信号的分布特征，得到表征所述待测样本的关键尺寸的测量特征信号；将所述测量特征信号与仿真特征信号进行比较，确定与所述测量特征信号的差异最小的仿真特征信号；将与所述测量特征信号的差异最小的仿真特征信号相对应的一组模拟关键尺寸作为待测样本的关键尺寸。
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公开(公告)号：CN118297829A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202311752571.6
申请日：2023-12-18
Applicant: 张江国家实验室
Abstract: 本申请实施例提供了一种宇宙线去除方法、装置、设备及存储介质，涉及信息处理技术领域，该方法为：对待测物体进行多次短曝光，获得多张第一周期信号图像，第一周期信号图像包含多个周期单元；对多张第一周期信号图像进行叠加处理，得到第二周期信号图像并确定第二周期信号图像中各周期单元的光斑掩膜分布；基于所述光斑掩膜分布，确定第一周期信号图像中的光斑掩膜中是否存在宇宙线，从而确定第一周期信号图像是否受宇宙线影响；将未受宇宙线影响的各第一周期信号图像进行叠加，得到针对待测物体的目标周期信号图像。通过对待测物体进行多次短曝光，可以得到多张弱信号的周期信号图像，较容易地校测出宇宙线噪声。
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公开(公告)号：CN118296344A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202311566807.7
申请日：2023-11-22
Applicant: 张江国家实验室
IPC: G06F18/213 , G01B15/00 , G06F18/10 , G06F30/27 , G06N20/00
Abstract: 基于机器学习加速的X射线小角散射测量方法及装置，用以在确定样品关键尺寸时加快仿真计算散射信号的速度，进而减少求解关键尺寸所花费的时间。该方法包括：通过测量系统获取待测样本的测量散射图；测量散射图为在不同位置关系下测量系统的X射线经过待测样本被散射后形成的散射图；所述位置关系为X射线与所述待测样本的方位角和入射角；解析所述待测样本的测量散射图中散射信号的分布特征，得到表征所述待测样本的关键尺寸的测量特征信号；将所述测量特征信号与仿真特征信号进行比较，确定与所述测量特征信号的差异最小的仿真特征信号；将与所述测量特征信号的差异最小的仿真特征信号相对应的一组模拟关键尺寸作为待测样本的关键尺寸。
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