公开(公告)号：CN118294484A

公开(公告)日：2024-07-05

申请号：CN202311561294.0

申请日：2023-11-21

Applicant: 张江国家实验室

Inventor： 喻虹 ,  方彤 ,  王成龙

IPC: G01N23/201

Abstract: 本申请提供一种掠入射小角度X射线散射布拉格峰定位方法，包括：接收以第一角度掠入射至二维周期结构样品的X射线，其中，二维周期结构样品包括多个粒子；确定二维周期结构样品的实空间结构参数；根据实空间结构参数确定二维周期结构样品中的粒子所对应的第一散射矢量分量和第二散射矢量分量，其中，第一散射矢量和第二散射矢量相互正交；根据第一散射矢量分量和所述第二散射矢量分量，确定第三散射矢量分量和第一散射角度信息，其中，第三散射矢量分量与第一散射矢量、第二散射矢量正交，第一散射角度信息指的是布拉格峰对应的散射角度信息。该方案，能够实现针对二维周期分布结构样品的GISAXS的布拉格峰的准确定位。

公开(公告)号：CN118294484B

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202311561294.0

申请日：2023-11-21

Applicant: 张江国家实验室

Inventor： 喻虹 ,  方彤 ,  王成龙

IPC: G01N23/201

Abstract: 本申请提供一种掠入射小角度X射线散射布拉格峰定位方法，包括：接收以第一角度掠入射至二维周期结构样品的X射线，其中，二维周期结构样品包括多个粒子；确定二维周期结构样品的实空间结构参数；根据实空间结构参数确定二维周期结构样品中的粒子所对应的第一散射矢量分量和第二散射矢量分量，其中，第一散射矢量和第二散射矢量相互正交；根据第一散射矢量分量和所述第二散射矢量分量，确定第三散射矢量分量和第一散射角度信息，其中，第三散射矢量分量与第一散射矢量、第二散射矢量正交，第一散射角度信息指的是布拉格峰对应的散射角度信息。该方案，能够实现针对二维周期分布结构样品的GISAXS的布拉格峰的准确定位。