公开(公告)号：CN102136411A

公开(公告)日：2011-07-27

申请号：CN201010534873.2

申请日：2007-03-19

Applicant: 应用材料股份有限公司

Inventor： 胡安·卡洛斯·罗奇-阿尔维斯 ,  托马斯·诺瓦克 ,  戴尔·R·杜·博伊斯 ,  萨尼夫·巴鲁贾 ,  斯科特·A·亨德里克森 ,  达斯廷·W·胡 ,  安德兹·卡祖巴 ,  汤姆·K·乔 ,  希姆·M·萨德 ,  恩德卡·O·米科蒂

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/3105 ,  C23C16/56

CPC classification number: B05D3/067 ,  B29C71/04 ,  B29C2035/0827 ,  F26B3/28 ,  H01L21/67115

Abstract: 本发明的实施方式主要涉及一种用于固化沉积于衬底上的介电材料的紫外固化腔室以及利用紫外辐射固化介电材料的方法。根据本发明实施方式的一种衬底处理设备包括限定衬底处理区的主体；在所述衬底处理区内支撑衬底的衬底支架；与所述衬底支架间隔设置的紫外辐射灯，所述灯设计用于向位于所述衬底支架上的衬底传播紫外辐射；以及运转耦合的电机使所述紫外辐射灯或衬底支架的至少其中之一相对彼此旋转至少180度。所述衬底处理设备还可包括一个或多个反射器，其用于在衬底上产生紫外辐射的泛光图案，所述图案具有高亮度区域和低亮度区域，当旋转时，所述区域结合而产生基本均匀的辐射图案。在本发明中还公开了其他实施方式。

公开(公告)号：CN100578730C

公开(公告)日：2010-01-06

申请号：CN200710112435.5

申请日：2007-06-26

Applicant: 应用材料股份有限公司

Inventor： 胡安·卡洛斯·罗奇-阿尔维斯 ,  托马斯·诺瓦克 ,  萨尼夫·巴鲁贾 ,  安德兹·卡祖巴 ,  恩德卡·O·米科蒂

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/268 ,  H01L21/3105 ,  C23C16/56

Abstract: 本发明公开了一种用于UV固化室的增加设备利用性/MWBC减少的装置和方法，其引导层状净化气流通过工件以去除除气或产生自处理期间的工件的污染物或物质。为了提供层状气流，泵衬里可采用环形，其具有诸如各种尺寸和/或形状的狭槽的多个注入狭槽以及相对的多个接收狭槽。为了防止污染物在室的组件上的聚集，净化气流足够载送来自处理室的污染物或除气物质。为了防止物质在衬里上的冷凝，泵衬里可通过来自辐射源的传导和辐射进行加热。为了增加衬里的发射率，泵衬里还可进行阳极化或其它处理。

公开(公告)号：CN101093786B

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN200710087479.7

申请日：2007-03-19

Applicant: 应用材料股份有限公司

Inventor： 胡安·卡洛斯·罗奇-阿尔维斯 ,  托马斯·诺瓦克 ,  戴尔·R·杜·博伊斯 ,  萨尼夫·巴鲁贾 ,  斯科特·A·亨德里克森 ,  达斯廷·W·胡 ,  安德兹·卡祖巴 ,  汤姆·K·乔 ,  希姆·M·萨德 ,  恩德卡·O·米科蒂

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/3105 ,  C23C16/56

CPC classification number: B05D3/067 ,  B29C71/04 ,  B29C2035/0827 ,  F26B3/28 ,  H01L21/67115

Abstract: 本发明的实施方式主要涉及一种用于固化沉积于衬底上的介电材料的紫外固化腔室以及利用紫外辐射固化介电材料的方法。根据本发明实施方式的一种衬底处理设备包括限定衬底处理区的主体；在所述衬底处理区内支撑衬底的衬底支架；与所述衬底支架间隔设置的紫外辐射灯，所述灯设计用于向位于所述衬底支架上的衬底传播紫外辐射；以及运转耦合的电机使所述紫外辐射灯或衬底支架的至少其中之一相对彼此旋转至少180度。所述衬底处理设备还可包括一个或多个反射器，其用于在衬底上产生紫外辐射的泛光图案，所述图案具有高亮度区域和低亮度区域，当旋转时，所述区域结合而产生基本均匀的辐射图案。在本发明中还公开了其他实施方式。

公开(公告)号：CN101174544A

公开(公告)日：2008-05-07

申请号：CN200710112435.5

申请日：2007-06-26

Applicant: 应用材料股份有限公司

Inventor： 胡安·卡洛斯·罗奇-阿尔维斯 ,  托马斯·诺瓦克 ,  萨尼夫·巴鲁贾 ,  安德兹·卡祖巴 ,  恩德卡·O·米科蒂

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/268 ,  H01L21/3105 ,  C23C16/56

Abstract: 本发明公开了一种用于引导层状净化气流通过工件以去除除气或产生自处理期间的工件的污染物或物质的泵衬里。为了提供层状气流，该泵衬里可采用环形，其具有诸如各种尺寸和/或形状的狭槽的多个注入狭槽以及相对的多个接收狭槽。为了防止污染物在室的组件上的聚集，净化气流足够载送来自处理室的污染物或除气物质。为了防止物质在衬里上的冷凝，泵衬里可通过来自辐射源的传导和辐射进行加热。为了增加衬里的发射率，泵衬里还可进行阳极化或其它处理。

公开(公告)号：CN101093786A

公开(公告)日：2007-12-26

申请号：CN200710087479.7

申请日：2007-03-19

Applicant: 应用材料股份有限公司

Inventor： 胡安·卡洛斯·罗奇-阿尔维斯 ,  托马斯·诺瓦克 ,  戴尔·R·杜·博伊斯 ,  萨尼夫·巴鲁贾 ,  斯科特·A·亨德里克森 ,  达斯廷·W·胡 ,  安德兹·卡祖巴 ,  汤姆·K·乔 ,  希姆·M·萨德 ,  恩德卡·O·米科蒂

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/3105 ,  C23C16/56

CPC classification number: B05D3/067 ,  B29C71/04 ,  B29C2035/0827 ,  F26B3/28 ,  H01L21/67115

Abstract: 本发明的实施方式主要涉及一种用于固化沉积于衬底上的介电材料的紫外固化腔室以及利用紫外辐射固化介电材料的方法。根据本发明实施方式的一种衬底处理设备包括限定衬底处理区的主体；在所述衬底处理区内支撑衬底的衬底支架；与所述衬底支架间隔设置的紫外辐射灯，所述灯设计用于向位于所述衬底支架上的衬底传播紫外辐射；以及运转耦合的电机使所述紫外辐射灯或衬底支架的至少其中之一相对彼此旋转至少180度。所述衬底处理设备还可包括一个或多个反射器，其用于在衬底上产生紫外辐射的泛光图案，所述图案具有高亮度区域和低亮度区域，当旋转时，所述区域结合而产生基本均匀的辐射图案。在本发明中还公开了其他实施方式。