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公开(公告)号：CN119654706A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202380060798.6
申请日：2023-08-23
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/68 , G06N20/00
Abstract: 一种方法，包括通过处理装置接收由基板处理系统的第一传感器产生的第一数据。第一数据响应于第一传感器接收到来自由基板处理系统中的传送腔室的机器人手臂保持的基板的电磁辐射而产生。该方法进一步包括处理第一数据以获得第二数据。第二数据包括基板处理系统的性能的第一指示。该方法进一步包括鉴于第二数据来促使与基板处理系统相关联的校正动作的执行。
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