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公开(公告)号：CN117178351A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202280029375.3
申请日：2022-03-16
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 示例性支撑组件可包括限定支撑表面的静电卡盘主体，所述支撑表面限定基板座。所述组件可包括与卡盘主体耦接的支撑杆。所述组件可包括嵌入在卡盘主体中的加热器。所述组件可包括第一双极电极，所述第一双极电极嵌入在加热器与支撑表面之间的静电卡盘主体中。所述组件可包括第二双极电极，所述第二双极电极嵌入在加热器与支撑表面之间的卡盘主体中。所述组件可包括至少一个内电容传感器，所述至少一个内电容传感器嵌入在静电卡盘主体中靠近基板座的中心的位置处。所述组件可包括至少一个外电容传感器，所述至少一个外电容传感器嵌入在静电卡盘主体中靠近基板座的周缘的位置处。
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