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实用新型
用于支撑基板的载体以及所述载体的装置有权

公开(公告)号：CN206657801U

公开(公告)日：2017-11-21

申请号：CN201621407947.5

申请日：2016-12-21

Applicant: 应用材料公司

Inventor： H·吴尔斯特 , S·刘 , C·灿格尔 , O·乌尔曼

IPC: H01L21/67 , H01L21/687

Abstract: 本实用新型提供一种用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)。所述载体包括：框架(110)，所述框架被配置成用于接收基板(200)；以及基板固持组件(120)，所述基板固持组件被配置成用于竖直地将所述基板固持在所述框架(110)内。基板固持组件(120)包括位置指示单元(140)，所述位置指示单元用于指示基板相对于所述框架的位置，其中所述位置指示单元(140)可相对于所述框架(110)移动。

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