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发明公开
用于等离子体腔室条件监测的电容感测数据集成审中-实审

公开(公告)号：CN115176328A

公开(公告)日：2022-10-11

申请号：CN202180016547.9

申请日：2021-01-15

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 潘尧令 , P·J·唐 , M·D·威尔沃斯 , L·泰德斯奇 , K-S·N·尚 , M·V·塔拉布钦 , C·R·哈迪 , S·纳加拉贾

IPC: H01J37/32 , H05H1/00

Abstract: 描述了用于等离子体腔室条件监测的电容传感器和电容感测数据集成。在示例中，等离子体腔室监测系统包括：多个电容传感器；电容数字转换器；以及应用处理服务器，所述应用处理服务器耦合至所述电容数字转换器，所述应用处理服务器包括系统软件。所述电容数字转换器包括：绝缘接口，所述绝缘接口耦合至所述多个电容传感器；电源，所述电源耦合至所述绝缘接口；现场可编程门阵列固件，所述现场可编程门阵列固件耦合至所述绝缘接口；以及专用集成电路，所述专用集成电路耦合至所述现场可编程门阵列固件。

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