公开(公告)号：CN119542198A

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202411723643.9

申请日：2019-08-05

Applicant: 应用材料公司

Inventor： J·兰加拉简 ,  A·布兰克 ,  E·戈卢博夫斯基 ,  B·C·加嘎纳坦 ,  S·M·苏尼卡 ,  E·米克海利琴科 ,  M·A·安德森 ,  J·P·多明

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  H01L21/02 ,  B08B3/02 ,  B08B3/08 ,  B08B13/00

Abstract: 一种用于清洁晶片的清洁模块包含晶片夹持装置，所述晶片夹持装置被配置为在垂直定向上支撑晶片并且包含接取杯和夹持器组件。接取杯包含具有环形内表面的壁，该环形内表面限定处理区域并且具有成角度部分，所述成角度部分关于晶片夹持装置的中心轴对称。夹持器组件包含第一板组件、第二板组件、多个夹持销、以及多个装载销。夹持销被配置为在清洁工艺期间夹持晶片，并且装载销被配置为在装载和卸载工艺期间夹持晶片。清洁模块进一步包含耦接到喷嘴机构的吹扫臂，所述喷嘴机构被配置为将液体递送到晶片的前侧和背侧。

公开(公告)号：CN112543991B

公开(公告)日：2024-12-03

申请号：CN201980050797.7

申请日：2019-08-05

Applicant: 应用材料公司

Inventor： J·兰加拉简 ,  A·布兰克 ,  E·戈卢博夫斯基 ,  B·C·加嘎纳坦 ,  S·M·苏尼卡 ,  E·米克海利琴科 ,  M·A·安德森 ,  J·P·多明

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  H01L21/683 ,  H01L21/02

Abstract: 一种用于清洁晶片的清洁模块包含晶片夹持装置，所述晶片夹持装置被配置为在垂直定向上支撑晶片并且包含接取杯和夹持器组件。接取杯包含具有环形内表面的壁，该环形内表面限定处理区域并且具有成角度部分，所述成角度部分关于晶片夹持装置的中心轴对称。夹持器组件包含第一板组件、第二板组件、多个夹持销、以及多个装载销。夹持销被配置为在清洁工艺期间夹持晶片，并且装载销被配置为在装载和卸载工艺期间夹持晶片。清洁模块进一步包含耦接到喷嘴机构的吹扫臂，所述喷嘴机构被配置为将液体递送到晶片的前侧和背侧。

公开(公告)号：CN112543991A

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：CN201980050797.7

申请日：2019-08-05

Applicant: 应用材料公司

Inventor： J·兰加拉简 ,  A·布兰克 ,  E·戈卢博夫斯基 ,  B·C·加嘎纳坦 ,  S·M·苏尼卡 ,  E·米克海利琴科 ,  M·A·安德森 ,  J·P·多明

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  H01L21/683 ,  H01L21/02

Abstract: 一种用于清洁晶片的清洁模块包含晶片夹持装置，所述晶片夹持装置被配置为在垂直定向上支撑晶片并且包含接取杯和夹持器组件。接取杯包含具有环形内表面的壁，该环形内表面限定处理区域并且具有成角度部分，所述成角度部分关于晶片夹持装置的中心轴对称。夹持器组件包含第一板组件、第二板组件、多个夹持销、以及多个装载销。夹持销被配置为在清洁工艺期间夹持晶片，并且装载销被配置为在装载和卸载工艺期间夹持晶片。清洁模块进一步包含耦接到喷嘴机构的吹扫臂，所述喷嘴机构被配置为将液体递送到晶片的前侧和背侧。