公开(公告)号：CN102089863B

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN200980128082.5

申请日：2009-07-10

Applicant: 应用材料公司

Inventor： K·欣克利 ,  Y·张 ,  M·埃尔南德斯 ,  W·邦 ,  D·卢博米尔斯基

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/00

CPC classification number: C23C16/452 ,  C23C16/4481 ,  C23C16/45512 ,  C23C16/45591

Abstract: 本发明提供与处理腔室一同使用的设备。在一方面，提供阻隔板，所述阻隔板包括环状板，所述环状板具有内部部分，所述内部部分具有第一厚度，且所述环状板具有孔洞图案，所述孔洞图案包括：中央部分；第一图案部分，所述第一图案部分共中心地设置在所述中央部分的周围，并且所述第一图案部分包括数个第一孔洞，所述第一孔洞具有第一孔洞数量；第二图案部分，所述第二图案部分共中心地设置在所述第一图案部分的周围，并且所述第二图案部分包括数个第二孔洞，所述第二孔洞具有第二孔洞数量，且所述第二孔洞数量大于所述第一孔洞数量；周围部分，所述周围部分共中心地设置在所述第二图案部分的周围。所述环状板更具有外部部分，所述外部部分包括设置在所述环状板的周边上的高起的共中心部分。在另一方面，提供第二、第三及第四种阻隔板。另外，提供在处理腔室中使用的混合设备及液体蒸发设备。