公开(公告)号：CN107667415A

公开(公告)日：2018-02-06

申请号：CN201680030126.0

申请日：2016-04-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： B·梅巴基 ,  P·曼纳 ,  缪丽妍 ,  D·帕德希 ,  金柏涵 ,  C·D·本彻尔

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/033 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/311

CPC classification number: H01L21/0337 ,  H01L21/02115 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02266 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/0273 ,  H01L21/31058 ,  H01L21/31138 ,  H01L2221/00

Abstract: 本公开的实施例涉及在形成于光刻胶或硬掩模中的特征上方沉积保形有机材料，以减少临界尺寸及线边缘粗糙度。在各种实施例中，超保形碳基材料沉积在形成于高分辨率光刻胶中的特征上方。形成于光刻胶上方的保形有机层由此缩减特征的临界尺寸及线边缘粗糙度。

公开(公告)号：CN107667415B

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN201680030126.0

申请日：2016-04-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： B·梅巴基 ,  P·曼纳 ,  缪丽妍 ,  D·帕德希 ,  金柏涵 ,  C·D·本彻尔

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/033 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/311

Abstract: 本公开的实施例涉及在形成于光刻胶或硬掩模中的特征上方沉积保形有机材料，以减少临界尺寸及线边缘粗糙度。在各种实施例中，超保形碳基材料沉积在形成于高分辨率光刻胶中的特征上方。形成于光刻胶上方的保形有机层由此缩减特征的临界尺寸及线边缘粗糙度。