公开(公告)号：CN101277787B

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：CN200680036363.4

申请日：2006-09-21

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 陈宏清

IPC: B24B37/32

CPC classification number: B24B41/005 ,  B24B37/345

Abstract: 本发明提供一种用于化学机械抛光的方法和设备，其包括支撑着抛光物件的台板、位于台板附近的机械手、带有保持环的抛光头、以及抛光头支撑机构。机械手被设置成将衬底定位在抛光物件上，抛光头支撑机构被设置成使抛光头移动到使保持环围绕衬底的位置。

公开(公告)号：CN101277787A

公开(公告)日：2008-10-01

申请号：CN200680036363.4

申请日：2006-09-21

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 陈宏清

IPC: B24B37/04

CPC classification number: B24B41/005 ,  B24B37/345

Abstract: 本发明提供一种用于化学机械抛光的方法和设备，其包括支撑着抛光物件的台板、位于台板附近的机械手、带有保持环的载具头、以及载具头支撑机构。机械手被设置成将衬底定位在抛光物件上，载具头支撑机构被设置成使载具头移动到使保持环围绕衬底的位置。

公开(公告)号：CN103203685A

公开(公告)日：2013-07-17

申请号：CN201310076001.X

申请日：2006-09-21

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 陈宏清

IPC: B24B41/00 ,  B24B37/34 ,  B24B37/04

CPC classification number: B24B41/005 ,  B24B37/345

Abstract: 本发明提供一种用于化学机械抛光的方法和设备，其包括支撑着抛光物件的台板、位于台板附近的机械手、带有保持环的载具头、以及载具头支撑机构。机械手被设置成将衬底定位在抛光物件上，载具头支撑机构被设置成使载具头移动到使保持环围绕衬底的位置。

公开(公告)号：CN201371411Y

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：CN200820184659.7

申请日：2006-12-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 陈宏清 ,  欧俊宏 ,  史蒂文·M·祖尼加

IPC: B24B29/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: B24B37/30

Abstract: 本实用新型公开了一种用于衬底化学机械抛光装置的载具头及其柔性膜，所述柔性膜具有中心部分、周边部分和至少一个薄片，中心部分具有提供衬底支撑表面的外表面，周边部分用于将中心部分连接到载具头的基座，薄片从中心部分的内表面延伸。薄片包括横向延伸的第一部分和垂直延伸的第二部分，所述第二部分将横向延伸的第一部分连接到中心部分。

公开(公告)号：CN201168928Y

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：CN200620139406.9

申请日：2006-12-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 陈宏清 ,  欧俊宏 ,  史蒂文·M·祖尼加

IPC: B24D17/00 ,  B24B29/00 ,  H01L21/304 ,  H01L41/047

CPC classification number: B24B37/30

Abstract: 本实用新型公开了一种用于衬底化学机械抛光装置载具头的柔性膜，它具有中心部分、周边部分和至少一个薄片，中心部分具有提供衬底支撑表面的外表面，周边部分用于将中心部分连接到载具头的基座，薄片从中心部分的内表面延伸。薄片包括横向延伸的第一部分和垂直延伸的第二部分，所述第二部分将横向延伸的第一部分连接到中心部分。