公开(公告)号：CN2841245Y

公开(公告)日：2006-11-29

申请号：CN200320100093.2

申请日：2003-10-14

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 陈志宏 ,  吴玖勋 ,  史蒂文·M·祖尼加 ,  罗伯特·D·托尔斯

IPC: B24B37/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/32

Abstract: 提供了一种用于化学机械抛光的两件式固定环。该固定环由基本上为环形的两个部分构成。一个部分具有凹陷，而另一部分具有突起，当将两个部分装配到一起时，该突起伸入凹陷中。该突起可以具有有着两个向外倾斜的侧壁的横截面。抛光过程中所产生的侧向载荷可由互锁结构承载，因此可以减小粘接剂剥离的风险。另一个潜在的优点是突起和凹陷能够增大两个环在彼此连接的表面处的表面面积，从而可以增强两个环之间的粘接力。特征结构的角度使得在特征结构内可以容易地放入材料，同时该角度仍能够构成互锁特征结构。另外，突起能够足够厚，足以减小破损的风险。如果特征彼此直接接触，则两个环可被加工成使得环之间的粘接层厚度一致。

公开(公告)号：CN201371411Y

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：CN200820184659.7

申请日：2006-12-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 陈宏清 ,  欧俊宏 ,  史蒂文·M·祖尼加

IPC: B24B29/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: B24B37/30

Abstract: 本实用新型公开了一种用于衬底化学机械抛光装置的载具头及其柔性膜，所述柔性膜具有中心部分、周边部分和至少一个薄片，中心部分具有提供衬底支撑表面的外表面，周边部分用于将中心部分连接到载具头的基座，薄片从中心部分的内表面延伸。薄片包括横向延伸的第一部分和垂直延伸的第二部分，所述第二部分将横向延伸的第一部分连接到中心部分。

公开(公告)号：CN201168928Y

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：CN200620139406.9

申请日：2006-12-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 陈宏清 ,  欧俊宏 ,  史蒂文·M·祖尼加

IPC: B24D17/00 ,  B24B29/00 ,  H01L21/304 ,  H01L41/047

CPC classification number: B24B37/30

Abstract: 本实用新型公开了一种用于衬底化学机械抛光装置载具头的柔性膜，它具有中心部分、周边部分和至少一个薄片，中心部分具有提供衬底支撑表面的外表面，周边部分用于将中心部分连接到载具头的基座，薄片从中心部分的内表面延伸。薄片包括横向延伸的第一部分和垂直延伸的第二部分，所述第二部分将横向延伸的第一部分连接到中心部分。