公开(公告)号：CN105074879B

公开(公告)日：2018-04-24

申请号：CN201480009016.7

申请日：2014-02-25

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 詹姆斯·马修·霍尔登 ,  徐松文 ,  谢纳·D·素缇拉 ,  格伦·T·莫里

IPC: H01L21/302

CPC classification number: H01L21/02101 ,  H01L21/02057 ,  H01L21/0209 ,  H01L21/67051

Abstract: 一种基板清洁装置可包括：基板支撑构件，用以支撑基板，该基板具有第一侧面和污染的第二侧面；液态二氧化碳源；气态二氧化碳源；及一或更多个喷嘴，该一或更多喷嘴耦合至液态二氧化碳源和气态二氧化碳源，其中一或更多个喷嘴配置为接收液态二氧化碳及排放来自液态二氧化碳源的固态和气态二氧化碳的第一混合物至基板的第二侧面，及接收气态二氧化碳及排放来自气态二氧化碳源的固态和气态二氧化碳的第二混合物至基板的第二侧面。清洁基板的方法可在基板清洁装置中执行。

公开(公告)号：CN105074879A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201480009016.7

申请日：2014-02-25

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 詹姆斯·马修·霍尔登 ,  徐松文 ,  谢纳·D·素缇拉 ,  格伦·T·莫里

IPC: H01L21/302

CPC classification number: H01L21/02101 ,  H01L21/02057 ,  H01L21/0209 ,  H01L21/67051

Abstract: 一种基板清洁装置可包括：基板支撑构件，用以支撑基板，该基板具有第一侧面和污染的第二侧面；液态二氧化碳源；气态二氧化碳源；及一或更多个喷嘴，该一或更多喷嘴耦合至液态二氧化碳源和气态二氧化碳源，其中一或更多个喷嘴配置为接收液态二氧化碳及排放来自液态二氧化碳源的固态和气态二氧化碳的第一混合物至基板的第二侧面，及接收气态二氧化碳及排放来自气态二氧化碳源的固态和气态二氧化碳的第二混合物至基板的第二侧面。清洁基板的方法可在基板清洁装置中执行。