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公开(公告)号：CN115836250A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202180046735.6
申请日：2021-06-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 拉克马尔·C·卡拉塔拉格 , 艾伦·丹格菲尔德 , 马克·约瑟夫·萨利 , 戴维·迈克尔·汤普森 , 苏斯米特·辛哈·罗伊 , 瑞加娜·弗雷德
IPC: G03F7/16
Abstract: 本文所披露的实施方式包括使用干式沉积工艺沉积金属氧光刻胶的方法。在实施方式中，在真空腔室中于基板上方形成光刻胶层的方法包含将金属前驱物蒸气提供至真空腔室中。在实施方式中，方法进一步包含将氧化剂蒸气提供至真空腔室中，其中金属前驱物蒸气与氧化剂蒸气之间的反应导致在基板的表面上形成光刻胶层。在实施方式中，光刻胶层为含金属氧的材料。
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