公开(公告)号：CN101960567A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980106993.8

申请日：2009-02-27

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 肯尼思·柯林斯 ,  马丁·萨里纳斯 ,  沃特·梅丽 ,  元洁 ,  安德鲁·源 ,  卡尔蒂克·贾亚拉曼 ,  詹尼弗·孙 ,  段仁官 ,  贺小明 ,  南希·凡格 ,  英·瑞 ,  伊玛德·尤瑟夫 ,  丹尼尔·J·霍夫曼

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/302

CPC classification number: H01L21/02087 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32366 ,  H01L21/0209

Abstract: 本发明提供了从衬底移除聚合物的方法和设备。在一实施例中，用于从衬底移除聚合物的设备包括：处理室，其具有界定了处理空间的室壁和室盖；衬底支撑组件，其被布置于处理室中；以及远程等离子体源，其经由形成于室壁中的出口端口耦接至处理室，出口端口具有指向被置于衬底支撑组件上的衬底的周边区域的开口，其中，远程等离子体源由抗氢核素的材料所构成。