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公开(公告)号：CN100385612C
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200380101846.4
申请日：2003-11-18
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: H01L21/68742 , H01L21/68778
Abstract: 本发明提供了一种用于从基座上提升衬底的方法。配置多个提升针，使得它们支撑衬底而不接触衬底的中心部分。被处理的衬底具有至少为500毫米的第一尺寸，以及至少为500毫米的第二尺寸。在多个提升针中，每一个提升针被配置成从距离衬底中心至少120毫米的点支撑衬底。多个提升针被配置成基座的每一侧都由至少三个提升针支撑。在一些实施例中，支撑部件上覆于多个提升针中的至少一个子集。
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公开(公告)号：CN102443783B
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201110394067.4
申请日：2004-04-14
Applicant: 应用材料公司
IPC: C23C16/455
CPC classification number: C23C16/45565 , C23C16/5096
Abstract: 本发明提供一种用于在处理腔中分配气体的气体分配板的实施例。在一实施例中，一气体分配板包括一扩散板，该扩散板具有多个在该扩散板一上游侧与一下游侧之间通过的气体通道。这些气体通道中的至少一个包括由一节流孔连接的一第一孔和一第二孔。该第一孔从该扩散板的上游侧延伸，而该第二孔从该扩散板的下游侧延伸。该节流孔具有分别小于该第一和第二孔的直径。
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公开(公告)号：CN1715442B
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN200510067274.3
申请日：2005-04-12
Applicant: 应用材料公司
IPC: C23C16/455 , C23C16/52 , C23C16/54 , C23C16/513 , C23C16/22
CPC classification number: C23C16/45559 , B05B1/005 , C23C16/4405 , C23C16/45565 , H01J37/3244
Abstract: 本发明提供一种气体分配板的多个实施例，所述气体分配板用以在处理室中散布气体。在一个实施例中，气体分配板包括：扩散板，所述扩散板具有上游侧和下游侧；和多个气体通道，所述气体通道穿过扩散板的所述上游侧和下游侧之间。所述气体通道的至少一个具有：圆柱形，所述圆柱形是从上游侧延伸的长度的一部分；及同轴圆锥形，所述同轴圆锥形是所述扩散板的剩余长度，所述圆锥部分的上游端具有与所述圆柱形部分基本相同的直径，而所述圆锥部分的下游端具有较大的直径。所述气体分配板相对地容易制造和提供好的室洁净率、好的薄膜沉积均匀性和好的薄膜沉积率。所述气体分配板还具有如下优势：较少的室洁净残留物留在扩散表面上，及较少的洁净残留物被并入所沉积的薄膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102443783A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201110394067.4
申请日：2004-04-14
Applicant: 应用材料公司
IPC: C23C16/455
CPC classification number: C23C16/45565 , C23C16/5096
Abstract: 本发明提供一种用于在处理腔中分配气体的气体分配板的实施例。在一实施例中，一气体分配板包括一扩散板，该扩散板具有多个在该扩散板一上游侧与一下游侧之间通过的气体通道。这些气体通道中的至少一个包括由一节流孔连接的一第一孔和一第二孔。该第一孔从该扩散板的上游侧延伸，而该第二孔从该扩散板的下游侧延伸。该节流孔具有分别小于该第一和第二孔的直径。
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公开(公告)号：CN1706025A
公开(公告)日：2005-12-07
申请号：CN200380101846.4
申请日：2003-11-18
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: H01L21/68742 , H01L21/68778
Abstract: 本发明提供了一种用于从基座上提升衬底的方法。配置多个提升针，使得它们支撑衬底而不接触衬底的中心部分。被处理的衬底具有至少为500毫米的第一尺寸，以及至少为500毫米的第二尺寸。在多个提升针中，每一个提升针被配置成从距离衬底中心至少120毫米的点支撑衬底。多个提升针被配置成基座的每一侧都由至少三个提升针支撑。在一些实施例中，支撑部件上覆于多个提升针中的至少一个子集。
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公开(公告)号：CN1754008B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN200480005271.0
申请日：2004-04-14
Applicant: 应用材料公司
IPC: C23C16/455
CPC classification number: C23C16/45565 , C23C16/5096
Abstract: 本发明提供一种用于在处理腔中分配气体的气体分配板的实施例。在一实施例中，一气体分配板包括一扩散板，该扩散板具有多个在该扩散板一上游侧与一下游侧之间通过的气体通道。这些气体通道中的至少一个包括由一节流孔连接的一第一孔和一第二孔。该第一孔从该扩散板的上游侧延伸，而该第二孔从该扩散板的下游侧延伸。该节流孔具有分别小于该第一和第二孔的直径。
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公开(公告)号：CN100385640C
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200410034739.0
申请日：2004-05-09
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/68 , H01L21/205 , C23C16/458 , C25D11/16
CPC classification number: H01J37/32082 , C23C16/4581 , C25D11/04 , C25D11/16 , C25D11/18
Abstract: 本发明提供了衬底支撑件和其制造方法。在本发明的一种实施例中，衬底支撑件包括具有衬底支撑表面的导电主体，所述衬底支撑表面被电绝缘涂层覆盖。涂层的至少位于衬底支撑表面中心上的一部分具有约80至约200微英寸的表面光洁度。在另一个实施例中，衬底支撑件包括阳极化的铝主体，所述铝主体在所述主体的适于将衬底支撑于其上的部分具有约80至约200微英寸的表面光洁度。
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公开(公告)号：CN1551326A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN200410034739.0
申请日：2004-05-09
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/68 , H01L21/205 , H01L21/00 , G02F1/136 , C23C16/00
CPC classification number: H01J37/32082 , C23C16/4581 , C25D11/04 , C25D11/16 , C25D11/18
Abstract: 本发明提供了衬底支撑件和其制造方法。在本发明的一种实施例中，衬底支撑件包括具有衬底支撑表面的导电主体，所述衬底支撑表面被电绝缘涂层覆盖。涂层的至少位于衬底支撑表面中心上的一部分具有约80至约200微英寸的表面光洁度。在另一个实施例中，衬底支撑件包括阳极化的铝主体，所述铝主体在所述主体的适于将衬底支撑于其上的部分具有约80至约200微英寸的表面光洁度。
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