公开(公告)号：CN119790185A

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202380062176.7

申请日：2023-08-09

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿纳塔·K·苏比玛尼 ,  赛义德·阿卜杜雷扎·法泽利 ,  郭飏 ,  钱德拉谢卡拉·巴吉纳热 ,  拉姆查兰·桑达 ,  史蒂文·莫斯布鲁克 ,  约翰·李 ,  万一扬 ,  张书锚 ,  德瑞蒂曼·苏巴·卡什亚普 ,  爱资哈尔·阿里·M·A

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/50 ,  H01J37/32

Abstract: 在一些具体实施例中，一种喷头组件，喷头组件包括：加热的喷头，所述加热的喷头具有加热器板和耦接到加热器板的气体分配板；离子过滤器，离子过滤器与加热的喷头间隔开；间隔环，间隔环在加热的喷头与离子过滤器之间接触；远程等离子体区域，远程等离子体区域在所述加热的喷头与离子过滤器之间；上隔离器，上隔离器与间隔环间隔开并被支撑在离子过滤器上；密封环，密封环紧固到加热的喷头，抵靠上隔离器密封并将上隔离器推靠在离子过滤器上；间隙，间隙位于气体分配板的底部与离子过滤器的顶部之间，间隙与远程等离子体区域流体连通；第一通道，第一通道延伸穿过加热器板；和第二通道，第二通道与第一通道连通并延伸穿过气体分配板，第二通道延伸至间隙。