公开(公告)号：CN106030755B

公开(公告)日：2020-01-03

申请号：CN201580003949.X

申请日：2015-02-19

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 迈克尔·S·考克斯 ,  莫尼克·麦金托什 ,  科林·约翰·迪金森 ,  保罗·E·费舍尔 ,  田中豊 ,  原铮

IPC: H01L21/02 ,  H05H1/46

Abstract: 本发明描述一种等离子体减量工艺以用于减少来自处理腔室的含有化合物的流出物。等离子体减量工艺取用来自处理腔室(例如，沉积腔室)的气态前级管道流出物，并使该流出物在位于前级管线路径上的等离子体腔室内进行反应。该等离子体使流出物中的化合物解离，而将该流出物转化成较良性的化合物。减量剂可帮助减少所述化合物。该减量工艺可为挥发减量工艺或凝结减量工艺。代表性的挥发减量剂包括，例如，CH4、H2O、H2、NF3、SF6、F2、HCl、HF、Cl2及HBr。代表性的凝结减量剂包括，例如，H2、H2O、O2、N2、O3、CO、CO2、NH3、N2O、CH4及上述的组合物。

公开(公告)号：CN106030755A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201580003949.X

申请日：2015-02-19

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 迈克尔·S·考克斯 ,  莫尼克·麦金托什 ,  科林·约翰·迪金森 ,  保罗·E·费舍尔 ,  田中豊 ,  原铮

IPC: H01L21/02 ,  H05H1/46

Abstract: 本发明描述一种等离子体减量工艺以用于减少来自处理腔室的含有化合物的流出物。等离子体减量工艺取用来自处理腔室(例如，沉积腔室)的气态前级管道流出物，并使该流出物在位于前级管线路径上的等离子体腔室内进行反应。该等离子体使流出物中的化合物解离，而将该流出物转化成较良性的化合物。减量剂可帮助减少所述化合物。该减量工艺可为挥发减量工艺或凝结减量工艺。代表性的挥发减量剂包括，例如，CH4、H2O、H2、NF3、SF6、F2、HCl、HF、Cl2及HBr。代表性的凝结减量剂包括，例如，H2、H2O、O2、N2、O3、CO、CO2、NH3、N2O、CH4及上述的组合物。