公开(公告)号：CN109314060B

公开(公告)日：2023-08-25

申请号：CN201780038110.9

申请日：2017-06-06

申请人： 应用材料公司

发明人： 欧岳生 ,  王瑞 ,  塔克·丰·孔 ,  王欣

IPC分类号： H01L21/324 ,  H01L21/02

摘要： 本文提供固化聚酰亚胺以调整热膨胀系数的方法。一些实施方式中，于基板上固化聚合物层的方法包括：(a)施加可变频率的微波能量至该基板，以将该聚合物层及该基板加热至第一温度；和(b)调整该可变频率的微波能量，以将该聚合物层及该基板的温度增加至第二温度，用以固化该聚合物层。

公开(公告)号：CN107109629B

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201580067397.9

申请日：2015-10-22

申请人： 应用材料公司

发明人： 魏俊琪 ,  曹志涛 ,  欧岳生 ,  阿南塔克里希纳·朱普迪 ,  希兰库玛·萨万戴亚 ,  王欣 ,  斯里斯卡塔拉贾赫·西里纳瓦卡拉苏

IPC分类号： C23C14/34 ,  H01J37/34

摘要： 本公开内容的实施方式包括用于控制钛‑钨(TiW)靶材小结形成的方法和设备。在一些实施方式中，靶材包括：源材料，所述源材料主要地包括钛(Ti)和钨(W)，所述源材料由钛粉末和钨粉末的混合物形成，其中主要数量的钛粉末的晶粒尺寸小于或等于主要数量的钨粉末的晶粒尺寸。

公开(公告)号：CN109314060A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201780038110.9

申请日：2017-06-06

申请人： 应用材料公司

发明人： 欧岳生 ,  王瑞 ,  塔克·丰·孔 ,  王欣

IPC分类号： H01L21/324 ,  H01L21/02

摘要： 本文提供固化聚酰亚胺以调整热膨胀系数的方法。一些实施方式中，于基板上固化聚合物层的方法包括：(a)施加可变频率的微波能量至该基板，以将该聚合物层及该基板加热至第一温度；和(b)调整该可变频率的微波能量，以将该聚合物层及该基板的温度增加至第二温度，用以固化该聚合物层。

公开(公告)号：CN107109629A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201580067397.9

申请日：2015-10-22

申请人： 应用材料公司

发明人： 魏俊琪 ,  曹志涛 ,  欧岳生 ,  阿南塔克里希纳·朱普迪 ,  希兰库玛·萨万戴亚 ,  王欣 ,  斯里斯卡塔拉贾赫·西里纳瓦卡拉苏

IPC分类号： C23C14/34 ,  H01J37/34

摘要： 本公开内容的实施方式包括用于控制钛‑钨(TiW)靶材小结形成的方法和设备。在一些实施方式中，靶材包括：源材料，所述源材料主要地包括钛(Ti)和钨(W)，所述源材料由钛粉末和钨粉末的混合物形成，其中主要数量的钛粉末的晶粒尺寸小于或等于主要数量的钨粉末的晶粒尺寸。