公开(公告)号：CN101189772A

公开(公告)日：2008-05-28

申请号：CN200680014183.6

申请日：2006-04-26

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 塙广二 ,  安德鲁·源 ,  肯尼思·S·柯林斯 ,  卡尔蒂克·贾亚拉曼 ,  比亚焦·加洛 ,  埃米尔·奥-巴亚缇

IPC: H01T23/00

CPC classification number: H01L21/68742 ,  H01L21/6831

Abstract: 用在对工件进行处理的反应器中的升降销组件包括大致平行于升降方向延伸的多个升降销。多个升降销的每个具有用于支撑工件的顶端和底端。升降台面向升降销的底端，并在大致平行于升降方向的方向上移动。小力检测器感测由升降销施加的力，该力足够大以指示所夹持的晶片，并且足够小以避免晶片脱离夹持。大力检测器感测在足以使晶片脱离夹持的范围中由升降销施加的力。

公开(公告)号：CN101189772B

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN200680014183.6

申请日：2006-04-26

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 塙广二 ,  安德鲁·源 ,  肯尼思·S·柯林斯 ,  卡尔蒂克·贾亚拉曼 ,  比亚焦·加洛 ,  埃米尔·奥-巴亚缇

IPC: H01L21/683 ,  H02N13/00 ,  H01T23/00

CPC classification number: H01L21/68742 ,  H01L21/6831

Abstract: 用在对工件进行处理的反应器中的升降销组件包括大致平行于升降方向延伸的多个升降销。多个升降销的每个具有用于支撑工件的顶端和底端。升降台面向升降销的底端，并在大致平行于升降方向的方向上移动。小力检测器感测由升降销施加的力，该力足够大以指示所夹持的晶片，并且足够小以避免晶片脱离夹持。大力检测器感测在足以使晶片脱离夹持的范围中由升降销施加的力。