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公开(公告)号：CN110430993A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201880016945.9
申请日：2018-03-09
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 胡·T·额 , 奈格·B·帕蒂班德拉 , 阿耶·M·乔希 , 拉南·泽哈维 , 杰弗里·L·富兰克林 , 卡西夫·马克苏德
IPC: B29C64/268 , B29C64/277 , G02B5/09 , G02B26/12 , B33Y30/00 , B33Y10/00
Abstract: 一种增材制造设备包括：平台；分配器，用以在平台的顶表面上分配复数个进料层；和能量输送组件。能量输送组件包括：光源，用以发射一个或多个光束；第一反射构件，具有复数个反射小面；和至少一个第二反射构件。第一反射构件是可旋转的，使得相继的小面沿着最上层上的路径顺序地扫掠光束。至少一个第二反射构件是可移动的，使得至少一个第二反射表面可重新定位以接收至少一个光束的至少一个，并将至少一个光束的至少一个沿着在最上层上的二维路径重定向。
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公开(公告)号：CN107636879A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201680027494.X
申请日：2016-05-11
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 吉百克·帕克 , 迈克尔·于-泰克·扬 , 秉-圣·利奥·郭 , 杰弗里·L·富兰克林 , 久·丘二
IPC: H01M10/04 , H01M10/052 , H01M6/40 , H01M10/0585
Abstract: 一种制造电化学器件的方法可包括：在金属电极上提供介电材料层；增强介电材料层中的在可见光及近紫外线范围内的光吸收，形成增强的介电材料层；和使用具有在可见光及近紫外线范围中的波长的激光在所述层的选择区域中激光烧蚀大体上所有的增强的介电材料，其中所述激光烧蚀使得金属电极大体上保持完整。在一些实施方式中，可提供经设计以在可见光及近紫外线范围内实现更高激光吸收而无需增强的层。电化学器件可包括：基板；形成于基板上的有效器件层堆叠；及覆盖堆叠的封装层，所述封装层经设计以强力吸收可见光及近紫外线范围内的激光。
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公开(公告)号：CN110678310B
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN201880034854.8
申请日：2018-05-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 杰弗里·L·富兰克林 , 胡·T·额 , 奈格·B·帕蒂班德拉
IPC: B29C64/264 , B29C64/245 , B29C64/153 , B29C64/393 , B33Y30/00 , B33Y50/02
Abstract: 一种积层制造设备，包含：平台；分配器，用于输送多个进料层；一或更多个光源，被配置为发射第一光束与第二光束；以及多边形束扫描器，包含可旋转镜，可旋转镜具有多个反射面以将第一光束与第二光束重定向为朝向平台，以传递能量至进料最上层。镜被定位并能被旋转而使得多个反射面中的每一面的运动使第一光束在最上层上沿着第一路径扫描，并使第二光束跟随第一光束沿着第一路径扫描。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111417505A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201880075894.7
申请日：2018-11-21
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 保罗·J·斯蒂芬斯 , 阿耶·M·乔希 , 杰弗里·L·富兰克林 , 林志红
IPC: B29C64/386 , B29C64/205 , B33Y30/00 , B33Y50/00
Abstract: 一种增材制造设备包含：平台、分配器，所述分配器用以将进料的多个连续层输送至所述平台、光源，所述光源用以产生光束、第一多边形镜扫描仪，所述第一多边形镜扫描仪用以反射所述光束而朝向所述平台行进，及第二多边形镜扫描仪，所述第二多边形镜扫描仪用以反射所述光束而朝向所述平台行进。所述光束被交替地引导至所述第一多边形镜扫描仪和所述第二多边形镜扫描仪，以使得在所述第二多边形镜扫描仪的死区时间期间，所述光束被引导至所述第一多边形镜扫描仪，以及在所述第一多边形镜扫描仪的死区时间期间，所述光束被引导至所述第二多边形镜扫描仪。
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公开(公告)号：CN110678310A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201880034854.8
申请日：2018-05-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 杰弗里·L·富兰克林 , 胡·T·额 , 奈格·B·帕蒂班德拉
IPC: B29C64/264 , B29C64/245 , B29C64/153 , B29C64/393 , B33Y30/00 , B33Y50/02
Abstract: 一种积层制造设备，包含：平台；分配器，用于输送多个进料层；一或更多个光源，被配置为发射第一光束与第二光束；以及多边形束扫描器，包含可旋转镜，可旋转镜具有多个反射面以将第一光束与第二光束重定向为朝向平台，以传递能量至进料最上层。镜被定位并能被旋转而使得多个反射面中的每一面的运动使第一光束在最上层上沿着第一路径扫描，并使第二光束跟随第一光束沿着第一路径扫描。
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公开(公告)号：CN110430994A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201880017050.7
申请日：2018-03-09
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 胡·T·额 , 奈格·B·帕蒂班德拉 , 阿耶·M·乔希 , 拉南·泽哈维 , 杰弗里·L·富兰克林 , 卡西夫·马克苏德
IPC: B29C64/268 , B29C64/153 , G02B5/09 , B33Y30/00
Abstract: 一种增材制造设备包括：平台；分配器，用以在平台的顶表面上分配复数个进料层；和能量输送系统。能量输送系统包括：光源，用以发射光束；和反射构件，具有复数个反射小面。反射构件定位在光束的路径中，以接收光束并将光束朝向平台的顶表面重定向，以将能量输送到进料层的最上层，以熔融进料。反射构件是可旋转的，使得相继的小面沿着最上层上的路径顺序地扫掠光束。
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公开(公告)号：CN117616590A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202280048805.6
申请日：2022-06-02
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 示例性处理方法包括在基板层上形成一组LED结构，以形成图案化的LED基板。可在图案化的LED基板上沉积光吸收屏障。该方法可进一步包括将图案化的LED基板曝露于光。与基板层及光吸收屏障接触的LED结构的表面可以吸收光。该方法仍可进一步包括分离基板层的LED结构。LED结构与基板层之间的接合可因与基板层接触的LED结构的表面的光吸收而减弱。
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公开(公告)号：CN107624086A
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201680027345.3
申请日：2016-05-16
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 杰弗里·L·富兰克林
IPC: B23K26/361
CPC classification number: B23K26/361 , B23K26/352 , B23K2103/42 , B26F3/06
Abstract: 依据实施方式，一种选择性剥蚀覆盖器件的金属层的光学透明材料的方法可以包含以下步骤：在金属层上提供光学透明材料层；以及使用失焦或成形激光束照射所述光学透明材料层的一部分及剥蚀所述光学透明材料层的所述部分；其中所述剥蚀让所述金属层完全未受损伤，并且其中所述激光具有在355nm至1070nm范围内的波长，并且其中来自所述激光束的激光单次通过所述光学透明材料层时所述光学透明材料层吸收少于或等于50％的所述激光。还描述用于激光剥蚀金属层上的透明材料层同时让所述金属层完全未受损伤的设备。
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