公开(公告)号：CN1930320A

公开(公告)日：2007-03-14

申请号：CN200580006997.0

申请日：2005-02-24

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 马丁·杰伊·瑟默恩斯 ,  温迪·H·叶 ,  苏达哈·S·R·拉蒂 ,  迪奈什·帕德海 ,  安迪(信朝)·路安 ,  萨姆-叶·贝蒂·唐 ,  普里亚·库尔卡尼 ,  维斯瓦思瓦伦·西瓦诺马克斯南 ,  金博宏 ,  海澈姆·穆萨德 ,  玉香·梅·王 ,  迈克尔·丘·宽

IPC: C23C16/26 ,  C23C16/505

Abstract: 本发明提供了用于沉积无定型碳材料的方法。在一个方面中，本发明提供一种处理衬底的方法，该方法包括：在处理室中放置所述衬底；将处理气体引入所述处理室，其中，所述处理气体包括载气、氢气和一种或多种烃化合物或其衍生物；通过从双频RF源施加功率产生所述处理气体的等离子体；以及在所述衬底上沉积无定型碳层。