公开(公告)号：CN112640074B

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN201980054661.3

申请日：2019-07-01

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿迪卜·汗 ,  梁奇伟 ,  苏坦·马立克 ,  斯里尼瓦斯·内曼尼 ,  拉菲卡·斯马蒂 ,  约瑟夫·恩济 ,  约翰·奥海尔

IPC: H01L21/67

Abstract: 本公开内容的实施方式涉及气体减弱设备和流出物管理。这里描述的设备包括高压处理腔室和围绕处理腔室的容纳腔室。高压流体输送模块与高压处理腔室流体连通，且高压流体输送模块经构造以将高压流体输送到处理腔室。流出物管理模块包括用于降低流出物压力的消音器组件和用于处理流出物的多个洗涤器。

公开(公告)号：CN112640074A

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN201980054661.3

申请日：2019-07-01

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿迪卜·汗 ,  梁奇伟 ,  苏坦·马立克 ,  斯里尼瓦斯·内曼尼 ,  拉菲卡·斯马蒂 ,  约瑟夫·恩济 ,  约翰·奥海尔

IPC: H01L21/67

Abstract: 本公开内容的实施方式涉及气体减弱设备和流出物管理。这里描述的设备包括高压处理腔室和围绕处理腔室的容纳腔室。高压流体输送模块与高压处理腔室流体连通，且高压流体输送模块经构造以将高压流体输送到处理腔室。流出物管理模块包括用于降低流出物压力的消音器组件和用于处理流出物的多个洗涤器。