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公开(公告)号：CN119790184A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202380062143.2
申请日：2023-08-28
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 张荣基 , 德瑞蒂曼·苏巴·卡什亚普 , 拉凯什·拉马达斯 , 阿什托西·阿咖瓦 , 沙希达拉·帕特尔·H·B , 穆罕纳德·穆斯塔法 , 桑吉夫·巴鲁贾
IPC: C23C16/455 , H01L21/02
Abstract: 本文中描述的气体分配设备包括邻近喷淋头的后板的混合板。混合板具有限定混合板的厚度的后表面和前表面。混合板具有混合通道以及与混合通道的顶部部分流体连通的至少两个气体入口，混合通道包括限定混合通道长度的顶部部分和底部部分。气体分配设备还包括设置在混合通道的顶部部分中的混合板的厚度内的混合器。混合器具有顶板和从顶板延伸的混合器杆以及沿着混合器杆长度定位的多个叶片。还提供了包括本文中描述的气体分配设备的处理腔室。
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