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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115699284A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202180037544.3
申请日：2021-04-14
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 巴斯卡尔·普拉萨德 , 克兰库玛尔·纽拉桑德拉·萨凡迪亚 , 托马斯·布里泽哲科 , 斯里尼瓦萨·拉奥·耶德拉
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/687 , C23C14/50 , C23C16/458 , G01J5/20
Abstract: 本公开内容的实施方式涉及用于基板处理的设备、系统和方法。可拆卸的基板支撑件设置在处理腔室的处理空间内，并且该基板支撑件包括基板界面表面和背表面。基座毂具有可移除地耦接至基板支撑件的支撑表面。基座毂的毂空间包括设置在其中的温度测量组件，温度测量组件定位成接收从基板支撑件的背表面发射的电磁能。温度测量组件测量进入组件的电磁能的强度并产生强度信号。基于强度信号决定基板的表观温度。
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公开(公告)号：CN116113726A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202180057753.4
申请日：2021-04-14
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 纳加布沙纳·南军达帕 , 克兰库玛尔·纽拉桑德拉·萨凡迪亚 , 斯里尼瓦萨·拉奥·耶德拉 , 托马斯·布里泽哲科 , 巴斯卡尔·普拉萨德
IPC: C23C16/46
Abstract: 本文公开的实施方式一般涉及一种系统，并且更具体而言，涉及一种基板处理系统。该基板处理系统包括一个或多个冷却系统。所述冷却系统被构造为用以降低和/或控制基板处理系统的主体的温度。所述冷却系统包括用于使用气体和/或液体冷却系统冷却基板处理系统中设置的主体的特征。本文公开的冷却系统能够用在主体设置在任何高度的时候。
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公开(公告)号：CN115516618A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202180033759.8
申请日：2021-04-12
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 斯里纳·索维纳哈里 , 克兰库玛尔·纽拉桑德拉·萨凡迪亚 , 巴斯卡尔·普拉萨德 , 斯里尼瓦萨·拉奥·耶德拉 , 托马斯·布里泽哲科
IPC: H01L21/687 , C23C16/458
Abstract: 一种用于将基板相对于基板支撑件定位的浮动销，包括被配置为移动通过基板支撑件中的导引孔的轴部，以及包括顶部表面及设置在该顶部表面与该轴部之间的平坦肩部表面的销头。该平坦肩部表面被配置为座设在该基板支撑件的凹入表面上且密封该基板支撑件的该导引孔。
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公开(公告)号：CN308929832S
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202430179918.1
申请日：2024-04-02
Applicant: 应用材料公司
Designer： 巴斯卡尔·普拉萨德 , 托马斯·布里泽哲科 , 克兰库玛尔·纽拉桑德拉·萨凡迪亚 , 阿迪蒂亚·库马尔 , 维杰·帕蒂尔
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：基板载体。
2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用作基板载体。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
5.其他需要说明的情形其他说明：立体图1是基板载体的顶部右前方角度的视图，立体图2是底部左前方角度的视图。 -
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