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公开(公告)号：CN116649016A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202180088968.2
申请日：2021-01-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 维杰·班·夏尔马 , 薛原 , 阿比吉特·拉克斯曼·桑格尔 , 巴拉特瓦·罗摩克里希南 , 杨毅 , 苏雷什·钱德·赛斯 , 安库尔·阿南特·卡达姆
IPC: H10N30/076
Abstract: 一种压电器件包括：基板(12)和在该基板(12)上的铌镁酸铅‑钛酸铅(PMNPT)压电膜。该PMNPT膜包括：在基板(12)上的热氧化物层(20)；在热氧化物层(20)上的第一电极；在第一电极上方的种晶层(26)；在种晶层(26)上的铌镁酸铅‑钛酸铅(PMNPT)压电层(16)，以及在PMNPT压电层(16)上的第二电极。该PMNPT膜的压电系数(d33)大于或等于200pm/V。
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