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公开(公告)号：CN1608305A
公开(公告)日：2005-04-20
申请号：CN02817702.9
申请日：2002-08-02
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/455 , C23C16/5096 , H01J37/3244 , Y10T29/49948
摘要： 一种用于等离子室的进气歧管，具有带孔的分气板，该分气板由包括一个或多个片的侧壁悬挂。所述片优选地提供弹性，以减小分气板中由于热膨胀与收缩而产生的应力。另一方面，侧壁提供了分气板与室的其他部件之间的隔热。
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公开(公告)号：CN100437893C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN02815295.6
申请日：2002-07-31
申请人： 应用材料公司
CPC分类号： H01L21/6838
摘要： 在此所提供的是一种提高在将材料膜沉积到衬底的过程中所使用的基座的支撑板的平面度的方法，包括下列步骤：将附装到所述支撑板的下表面并与所述支撑板的下表面对接的轴的中空芯中的压力减小到低于大气压的水平；以及将包括所述基座的沉积室中的压力减小到将材料膜沉积到所述衬底上所要求的水平，其中作用于所述支撑板的下表面上的所述轴中空芯中的减小压力和作用于所述支撑板的上表面上的所述沉积室中的减小压力的组合由此来提高所述基座的所述支撑板的平面度。还提供了基座和将膜沉积到被固定至本发明的基座上的衬底上的方法。
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公开(公告)号：CN1539158A
公开(公告)日：2004-10-20
申请号：CN02815295.6
申请日：2002-07-31
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： H01L21/6838
摘要： 在此所提供的是一种提高在将材料膜沉积到衬底的过程中所使用的基座的支撑板的平面度的方法，包括下列步骤：将轴的中空芯中的压力减小到低于大气压的水平；以及将沉积室中的压力减小到将材料膜沉积到衬底上所要求的水平，其中在轴的中空芯中的压力作用于支撑板的下表面上，该下表面被连接到轴且与轴的中空芯相对接，沉积室中的压力作用于支撑板的适于支撑衬底的上表面上，由此来提高平面度。还提供了基座和将膜沉积到被固定至本发明的基座上的衬底上的方法。
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公开(公告)号：CN1826679B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200480021361.9
申请日：2004-06-01
申请人： 应用材料公司
CPC分类号： H01J37/32082 , H01J37/32577
摘要： 提供了一种用于提供室壁和衬底支撑之间的RF电流返回电流路径的装置，包括具有第一端和第二端的低电阻柔性幕，第一端适于电连接到室壁，第二端适于连接到所述衬底支撑，其中所述幕还包括位于第一端和第二端之间的轴向距离上的幕材料中的至少一个折叠和切割在邻近第二端的幕中的至少一个穿孔。
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公开(公告)号：CN1327475C
公开(公告)日：2007-07-18
申请号：CN02817702.9
申请日：2002-08-02
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/455 , C23C16/5096 , H01J37/3244 , Y10T29/49948
摘要： 一种用于等离子室的进气歧管，具有带孔的分气板，该分气板由包括一个或多个片的侧壁悬挂。所述片优选地提供弹性，以减小分气板中由于热膨胀与收缩而产生的应力。另一方面，侧壁提供了分气板与室的其他部件之间的隔热。
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公开(公告)号：CN1826679A
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN200480021361.9
申请日：2004-06-01
申请人： 应用材料公司
CPC分类号： H01J37/32082 , H01J37/32577
摘要： 提供了一种用于提供室壁和衬底支撑之间的RF电流返回电流路径的装置，包括具有第一端和第二端的低电阻柔性幕，第一端适于电连接到室壁，第二端适于连接到所述衬底支撑，其中所述幕还包括位于第一端和第二端之间的轴向距离上的幕材料中的至少一个折叠和切割在邻近第二端的幕中的至少一个穿孔。
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