Invention Grant
CN1327475C 用于等离子室的悬挂式分气歧管
失效 - 权利终止
- Patent Title: 用于等离子室的悬挂式分气歧管
- Patent Title (English): Suspended gas distribution manifold for plasma chamber
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Application No.: CN02817702.9Application Date: 2002-08-02
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Publication No.: CN1327475CPublication Date: 2007-07-18
- Inventor: 厄恩斯特·凯勒 , 权原·尚
- Applicant: 应用材料公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚州
- Assignee: 应用材料公司
- Current Assignee: 应用材料公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
- Agency: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
- Agent 赵淑萍
- Priority: 09/922,219 2001.08.03 US
- International Application: PCT/US2002/024467 2002.08.02
- International Announcement: WO2003/015481 EN 2003.02.20
- Date entered country: 2004-03-10
- Main IPC: H01J37/32
- IPC: H01J37/32
Abstract:
一种用于等离子室的进气歧管，具有带孔的分气板，该分气板由包括一个或多个片的侧壁悬挂。所述片优选地提供弹性，以减小分气板中由于热膨胀与收缩而产生的应力。另一方面，侧壁提供了分气板与室的其他部件之间的隔热。
Public/Granted literature
- CN1608305A 用于等离子室的悬挂式分气歧管 Public/Granted day:2005-04-20
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