在此所提供的是一种提高在将材料膜沉积到衬底的过程中所使用的基座的支撑板的平面度的方法，包括下列步骤：将附装到所述支撑板的下表面并与所述支撑板的下表面对接的轴的中空芯中的压力减小到低于大气压的水平；以及将包括所述基座的沉积室中的压力减小到将材料膜沉积到所述衬底上所要求的水平，其中作用于所述支撑板的下表面上的所述轴中空芯中的减小压力和作用于所述支撑板的上表面上的所述沉积室中的减小压力的组合由此来提高所述基座的所述支撑板的平面度。还提供了基座和将膜沉积到被固定至本发明的基座上的衬底上的方法。