公开(公告)号：CN101358338B

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN200810131215.1

申请日：2008-07-30

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 陆思青 ,  巴拉吉·查卓瑟卡兰 ,  保罗·爱德华·吉 ,  尼汀·K·尹格勒 ,  德米特里·鲁博弥尔斯克 ,  原铮 ,  埃利·Y·易

IPC: C23C16/54

CPC classification number: C23C16/4586 ,  C23C16/4584 ,  Y10T279/11

Abstract: 本发明提供一种轴对称和均匀热分布的真空吸附加热器。在一些实施例中，一种真空吸盘包括：主体，具有用于在其上支撑衬底的支撑表面；多个轴对称布置的沟槽，形成于所述支撑表面中，所述沟槽中的至少一些相交；以及穿过所述主体并在所述沟槽内形成的多个吸附孔，所述吸附孔用于在操作期间将所述沟槽流体耦合到真空源，其中，所述吸附孔布置在所述沟槽的非相交部分中。

公开(公告)号：CN101358338A

公开(公告)日：2009-02-04

申请号：CN200810131215.1

申请日：2008-07-30

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 陆思青 ,  巴拉吉·查卓瑟卡兰 ,  保罗·爱德华·吉 ,  尼汀·K·尹格勒 ,  德米特里·鲁博弥尔斯克 ,  原铮 ,  埃利·Y·易

IPC: C23C16/54

CPC classification number: C23C16/4586 ,  C23C16/4584 ,  Y10T279/11

Abstract: 本发明提供一种轴对称和均匀热分布的真空吸附加热器。在一些实施例中，一种真空吸盘包括：主体，具有用于在其上支撑衬底的支撑表面；多个轴对称布置的沟槽，形成于所述支撑表面中，所述沟槽中的至少一些相交；以及穿过所述主体并在所述沟槽内形成的多个吸附孔，所述吸附孔用于在操作期间将所述沟槽流体耦合到真空源，其中，所述吸附孔布置在所述沟槽的非相交部分中。