公开(公告)号：CN101304630A

公开(公告)日：2008-11-12

申请号：CN200810085676.X

申请日：2008-02-02

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 罗伯特·陈 ,  赖灿风 ,  兴隆·陈 ,  伟意·罗 ,  华仲强 ,  陆思青 ,  穆罕默德·拉希德 ,  梁起威 ,  德米特里·鲁博弥尔斯克 ,  埃利·Y·易

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  C23C16/455 ,  C23C16/513 ,  C23C16/52

CPC classification number: H01J37/321

Abstract: 本发明提供一种用于电感耦合高密度等离子体处理室的内部平衡线圈。线圈包括第一线圈部分，第二线圈部分和内部平衡电容。第一线圈部分具有第一端和第二端。线圈部分的第一端连接至电源。第二线圈部分具有第一端和第二端。第一线圈部分的第二端连接至外部平衡电容。内部平衡电容串联连接在第一线圈部分的第二端和第二线圈部分的第一端之间。应用内部平衡电容和线圈部分以提供沿着第一线圈部分的电压峰，其与沿着第二线圈部分的虚地实质上对准。

公开(公告)号：CN101304630B

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：CN200810085676.X

申请日：2008-02-02

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 罗伯特·陈 ,  赖灿风 ,  兴隆·陈 ,  伟意·罗 ,  华仲强 ,  陆思青 ,  穆罕默德·拉希德 ,  梁起威 ,  德米特里·鲁博弥尔斯克 ,  埃利·Y·易

IPC: H01L21/02 ,  H05H1/46 ,  H01L21/00 ,  C23C16/455 ,  C23C16/513 ,  C23C16/52

CPC classification number: H01J37/321

Abstract: 本发明提供一种用于电感耦合高密度等离子体处理室的内部平衡线圈。线圈包括第一线圈部分，第二线圈部分和内部平衡电容。第一线圈部分具有第一端和第二端。线圈部分的第一端连接至电源。第二线圈部分具有第一端和第二端。第一线圈部分的第二端连接至外部平衡电容。内部平衡电容串联连接在第一线圈部分的第二端和第二线圈部分的第一端之间。应用内部平衡电容和线圈部分以提供沿着第一线圈部分的电压峰，其与沿着第二线圈部分的虚地实质上对准。