一种光敏聚酰亚胺衍生氮掺杂碳图案及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN114967321B

    公开(公告)日:2023-03-07

    申请号:CN202210701647.1

    申请日:2022-06-21

    IPC分类号: G03F7/00 G03F7/16 C08G73/10

    摘要: 本发明提供了一种光敏聚酰亚胺衍生氮掺杂碳图案及其制备方法和应用,属于碳材料领域。所述制备方法是先将光敏聚酰亚胺材料涂覆于硅片基底上,经过曝光、显影及固化之后得到聚酰亚胺图案,然后将聚酰亚胺图案进行热解炭化,得到氮掺杂碳图案,最后在其上涂覆一层透明聚酰亚胺溶液,经进一步热处理后剥离下来即可得到光敏聚酰亚胺衍生氮掺杂碳图案。本发明提供的氮掺杂碳图案通过光刻结合热解碳化得到,相比其他图案碳材料制备方法具有更大的图形精度,在应用于微型超级电容器等图案化电极材料时可实现更精细的电极线路;本发明所述的碳图案制备工艺简单可控,通过调节旋涂操作工艺,即可实现图案化电极的厚度调节,符合储能器件薄型化的要求。

    一种自催化低介电聚酰亚胺材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN112062957A

    公开(公告)日:2020-12-11

    申请号:CN202010677168.1

    申请日:2020-07-14

    IPC分类号: C08G73/10 C08J5/18 C08L79/08

    摘要: 本发明提供了一种自催化低介电聚酰亚胺材料的制备方法,包括以下步骤:将二元胺单体与二元酐单体先后溶解于有机溶剂中,其中,二元酐单体分批加入;在氮气或氩气气氛、室温环境下,经预设时间反应制得聚酰胺酸溶液;将聚酰胺酸溶液旋转涂布,得到聚酰胺酸薄膜;将聚酰胺酸薄膜在预设温度范围内经梯度亚胺化处理得到自催化低介电聚酰亚胺材料。本发明在聚酰亚胺分子结构中引入含氮六元芳杂环结构,利用氮气的孤对电子的吸引质子作用,产生催化效果,使得聚酰胺酸脱水环化过程温度需求降低。本发明在聚酰亚胺中引入大量的氟元素,可以有效降低材料介电常数。本发明制备的自催化低介电聚酰亚胺材料具备介电常数低、亚胺化温度低等特点。