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公开(公告)号：CN118737859A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410852930.3
申请日：2024-06-28
Applicant: 常州大学
IPC: H01L21/60 , H01L23/538 , H01L23/488
Abstract: 本发明公开了一种低孔洞全金属间化合物焊点的制备方法，其包括如下步骤：1)在晶圆表面待键合区沉积0.1～5μm厚Cu‑Zn金属层，该Cu‑Zn金属层中Zn的质量百分比为5～20wt％；2)在步骤1)所得晶圆的Cu‑Zn金属层上沉积10～50nm厚Fe纳米晶薄膜；3)在步骤2)所得晶圆的Fe纳米晶薄膜上依次沉积Sn钎料层和In钎料层；4)将依次沉积Cu‑Zn金属层、Fe纳米晶薄膜、Sn钎料层和In钎料层的两个晶圆的待键合区对接，并进行固液互扩散键合处理，即得到低孔洞全金属间化合物焊点。本发明钎料制备的全金属间化合物焊点几乎无孔洞，可显著提高全金属间化合物焊点的可靠性。
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公开(公告)号：CN115107003A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210783045.5
申请日：2022-07-05
Applicant: 常州大学
Abstract: 本发明涉及一种面向水果采摘的刚柔耦合绳驱动外肢体机器人，它包括背部支撑板、穿戴装置、电源装置和两个机械臂，穿戴装置连接在背部支撑板上，用于穿戴于人体，电源装置用于供电；机械臂包括机械臂座、机械臂本体、机械爪和驱动装置，机械臂座安装在背部支撑扳上；机械臂本体包括依次连接的刚性大臂、刚性小臂和连续型柔性臂，刚性大臂的首端连接在机械臂座上；机械爪安装在连续型柔性臂的末端；驱动装置安装在背部支撑板上，分别通过绳索连接刚性大臂、刚性小臂和连续型柔性臂，用于驱动刚性大臂、刚性小臂和连续型柔性臂动作。本发明采用刚性臂和连续型柔性臂相结合的方式，实现精确的控制及良好的柔顺性，有效提高人员工作时的作业效率。
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公开(公告)号：CN115107003B
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202210783045.5
申请日：2022-07-05
Applicant: 常州大学
Abstract: 本发明涉及一种面向水果采摘的刚柔耦合绳驱动外肢体机器人，它包括背部支撑板、穿戴装置、电源装置和两个机械臂，穿戴装置连接在背部支撑板上，用于穿戴于人体，电源装置用于供电；机械臂包括机械臂座、机械臂本体、机械爪和驱动装置，机械臂座安装在背部支撑板上；机械臂本体包括依次连接的刚性大臂、刚性小臂和连续型柔性臂，刚性大臂的首端连接在机械臂座上；机械爪安装在连续型柔性臂的末端；驱动装置安装在背部支撑板上，分别通过绳索连接刚性大臂、刚性小臂和连续型柔性臂，用于驱动刚性大臂、刚性小臂和连续型柔性臂动作。本发明采用刚性臂和连续型柔性臂相结合的方式，实现精确的控制及良好的柔顺性，有效提高人员工作时的作业效率。
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公开(公告)号：CN118204672A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410468825.X
申请日：2024-04-18
Applicant: 常州大学
Abstract: 本发明公开了一种多芯片堆叠互连用钎料及其制备方法，钎料由如下质量百分比的组分组成：Bi含量30～40wt％，In含量2～5wt％，Ti含量0.2～0.8wt％，Si含量0.05～0.3wt％，其余为Sn。制备方法包括：1)将Bi锭、In锭和Sn锭按比例置于石英坩埚中，在中频感应炉中加热熔化，然后加入纳米Ti颗粒和纳米Si颗粒，保温一段时间；2)保温结束后，将液态钎料浇铸成棒材，最后挤压成焊片。本发明钎料可实现低温下键合，制备出的金属间化合物焊点孔洞较少，可显著提高金属间化合物焊点的可靠性。
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