公开(公告)号：CN112135899B

公开(公告)日：2022-10-25

申请号：CN201980033550.4

申请日：2019-05-13

申请人： 巴斯夫欧洲公司

发明人： M·布里尔 ,  D·勒夫勒 ,  Y·伯克 ,  F·皮龙 ,  L·恩格布莱希特 ,  S·奇霍尼 ,  M·伯格勒 ,  V·博伊科 ,  P·维尔克

IPC分类号： G03F7/40 ,  C11D7/50 ,  C11D11/00 ,  G03F7/00

摘要： 本发明涉及包含C1‑C6链烷醇和式I羧酸酯的组合物的用途，其中R1选自C1‑C6烷基，其可未被取代或被OH或F取代，和‑X21‑[O‑X22]n‑H；R2选自C1‑C6烷基，其可未被取代或被OH或F取代，和‑X21‑[O‑X22]n‑H；X21、X22独立地选自C1‑C6链烷二基，其可未被取代或被OH或F取代；n为1‑5的整数。其中选择所述C1‑C6链烷醇和羧酸酯以形成共沸混合物，并且以低于该共沸混合物的20重量％至低于该共沸混合物的20重量％的量存在。

公开(公告)号：CN112135899A

公开(公告)日：2020-12-25

申请号：CN201980033550.4

申请日：2019-05-13

申请人： 巴斯夫欧洲公司

发明人： M·布里尔 ,  D·勒夫勒 ,  Y·伯克 ,  F·皮龙 ,  L·恩格布莱希特 ,  S·奇霍尼 ,  M·伯格勒 ,  V·博伊科 ,  P·维尔克

IPC分类号： C11D7/50 ,  C11D11/00 ,  G03F7/40

摘要： 本发明涉及包含C1‑C6链烷醇和式I羧酸酯的组合物的用途，其中R1选自C1‑C6烷基，其可未被取代或被OH或F取代，和‑X21‑[O‑X22]n‑H；R2选自C1‑C6烷基，其可未被取代或被OH或F取代，和‑X21‑[O‑X22]n‑H；X21、X22独立地选自C1‑C6链烷二基，其可未被取代或被OH或F取代；n为1‑5的整数。其中选择所述C1‑C6链烷醇和羧酸酯以形成共沸混合物，并且以低于该共沸混合物的20重量％至低于该共沸混合物的20重量％的量存在。

公开(公告)号：CN114072482A

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN202080049504.6

申请日：2020-06-19

申请人： 巴斯夫欧洲公司

发明人： F·J·洛佩兹比利亚努埃瓦 ,  Y·伯克 ,  D·勒夫勒 ,  J·O·穆勒 ,  M·布里尔 ,  P·维尔克 ,  J-P·B·林德纳 ,  V·博伊科

IPC分类号： C09K13/00 ,  C09K13/08 ,  H01L21/306

摘要： 本发明涉及一种在含硅层，特别是包含a‑Si、SiOx、SiON、SiN或其组合的层存在下选择性蚀刻包含硅锗合金(SiGe)的层的组合物，该组合物包含：(a)氧化剂，(b)选自无机酸和有机酸的酸，(c)包含氟离子源的蚀刻剂，(d)聚乙烯基吡咯烷酮(PVP)和(e)水。

公开(公告)号：CN113574460A

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN202080020797.5

申请日：2020-04-03

申请人： 巴斯夫欧洲公司

发明人： S·奇霍尼 ,  D·勒夫勒 ,  M·布里尔 ,  F·皮龙 ,  L·恩格布莱希特 ,  M·伯格勒 ,  P·维尔克 ,  Y·伯克 ,  V·博伊哥

IPC分类号： G03F7/40 ,  B81C1/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/306 ,  C11D11/00

摘要： 本发明涉及一种非水性组合物，其包含：(a)有机溶剂，(b)至少一种式I的添加剂：其中R1、R2、R3和R4独立选自C1‑C10烷基、C1‑C11烷基羰基、C6‑C12芳基、C7‑C14烷芳基和C7‑C14芳烷基；n为0或1。