-
公开(公告)号：CN104040699B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201280066775.8
申请日：2012-02-08
Applicant: 岩谷产业株式会社
IPC: H01L21/3065 , H01L21/205
CPC classification number: C23C16/4404 , C23C16/4405 , C23C16/45561 , H01L21/67069
Abstract: 本发明提供一种能够确实地抑制在处理作业时反应室中的ClF3浓度的降低的三氟化氯供给路的内面处理方法。使作为蚀刻气体使用三氟化氯的处理装置的处理腔室(1)与气体供给路(2)和气体排出路(3)连结成一体，使与蚀刻处理操作时供给的三氟化氯气体浓度相同的浓度或者比该浓度高的浓度的三氟化氯气体作用于该形成一体的处理腔室(1)、气体供给路(2)和气体排出路(3)中的至少处理腔室(1)和气体供给路(2)的内面，至少对处理腔室(1)和气体供给路(2)的内面通过氟化膜形成覆膜。
-
公开(公告)号：CN109196276A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201780033968.6
申请日：2017-05-09
Applicant: 岩谷产业株式会社
Abstract: 本发明能够对透明的氢火焰进行良好且高亮度的着色并且长时间保持发色状态。其包括燃烧氢气发出氢火焰(F)的多个燃烧器(21)，以及放置在从燃烧器(21)的火焰口(21a)发出氢火焰(F)的方向的前方的着色部(31)。着色部(31)由发色部件(32)和穿过氢火焰(F)的贯通部(33)构成，发色部件(32)将呈现焰色反应的发色材料(32a)负载在溶岩形成的块状多孔体(32b)上形成。贯通部(33)由布置发色部件(32)时发色部件(32)之间的空间形成。
-
公开(公告)号：CN109196276B
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201780033968.6
申请日：2017-05-09
Applicant: 岩谷产业株式会社
Abstract: 本发明能够对透明的氢火焰进行良好且高亮度的着色并且长时间保持发色状态。其包括燃烧氢气发出氢火焰(F)的多个燃烧器(21)，以及放置在从燃烧器(21)的火焰口(21a)发出氢火焰(F)的方向的前方的着色部(31)。着色部(31)由发色部件(32)和穿过氢火焰(F)的贯通部(33)构成，发色部件(32)将呈现焰色反应的发色材料(32a)负载在溶岩形成的块状多孔体(32b)上形成。贯通部(33)由布置发色部件(32)时发色部件(32)之间的空间形成。
-
公开(公告)号：CN104040699A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201280066775.8
申请日：2012-02-08
Applicant: 岩谷产业株式会社
IPC: H01L21/3065 , H01L21/205
CPC classification number: C23C16/4404 , C23C16/4405 , C23C16/45561 , H01L21/67069
Abstract: 本发明提供一种能够确实地抑制在处理作业时反应室中的ClF3浓度的降低的三氟化氯供给路的内面处理方法。使作为蚀刻气体使用三氟化氯的处理装置的处理腔室(1)与气体供给路(2)和气体排出路(3)连结成一体，使与蚀刻处理操作时供给的三氟化氯气体浓度相同的浓度或者比该浓度高的浓度的三氟化氯气体作用于该形成一体的处理腔室(1)、气体供给路(2)和气体排出路(3)中的至少处理腔室(1)和气体供给路(2)的内面，至少对处理腔室(1)和气体供给路(2)的内面通过氟化膜形成覆膜。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.015 seconds)
