电输运性质可调控的氧化物磁性半导体薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN101256869A

    公开(公告)日:2008-09-03

    申请号:CN200710115811.6

    申请日:2007-12-20

    Applicant: 山东大学

    Abstract: 电输运性质可调控的氧化物磁性半导体薄膜及其制备方法,属于信息技术自旋电子材料领域。该系列氧化物磁性半导体薄膜显示普遍的电输运性质:低电阻率的材料为莫特(Mott)变程跃迁电阻,中间电阻率的材料为埃弗洛斯(Efros)变程跃迁电阻,高电阻率的材料为硬带隙(hard gap)电阻。利用磁控溅射或脉冲激光沉积的方法,交替沉积非常薄的铁磁金属层和宽禁带氧化物半导体层在衬底上,通过精确控制薄膜制备过程中的氧分压来调控材料的电输运性质。氧化物磁性半导体薄膜的电输运性质只与材料中氧空位的浓度相关。

    电输运性质可调控的氧化物磁性半导体薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN100595851C

    公开(公告)日:2010-03-24

    申请号:CN200710115811.6

    申请日:2007-12-20

    Applicant: 山东大学

    Abstract: 电输运性质可调控的氧化物磁性半导体薄膜及其制备方法,属于信息技术自旋电子材料领域。该系列氧化物磁性半导体薄膜显示普遍的电输运性质:低电阻率的材料为莫特(Mott)变程跃迁电阻,中间电阻率的材料为埃弗洛斯(Efros)变程跃迁电阻,高电阻率的材料为硬带隙(hard gap)电阻。利用磁控溅射或脉冲激光沉积的方法,交替沉积非常薄的铁磁金属层和宽禁带氧化物半导体层在衬底上,通过精确控制薄膜制备过程中的氧分压来调控材料的电输运性质。氧化物磁性半导体薄膜的电输运性质只与材料中氧空位的浓度相关。

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