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公开(公告)号：CN117756544B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202410195073.4
申请日：2024-02-22
申请人： 山东华美新材料科技股份有限公司
IPC分类号： C04B35/80 , C04B35/565 , C04B35/622 , C04B35/63 , H01L21/673
摘要： 本发明公开了一种大尺寸碳化硅陶瓷晶舟的制备方法，属于碳化硅陶瓷晶舟技术领域，所述制备方法由以下步骤组成：制备纤维气凝胶，制备包覆硅粉，等静压成型，一次烧结，浸渍，二次烧结；所述等静压成型，将碳化硅微粉、纤维气凝胶、包覆硅粉混合均匀，得到混合粉；将混合粉灌入大尺寸晶舟模具中，进行冷等静压成型，得到素坯；所述浸渍，将一次烧结物和纳米硅水分散液置于真空容器中，控制真空容器内的真空度为300‑400KPa，温度为40‑50℃，浸渍5‑6h后取出，得到浸渍后的坯体；本发明能够提高大尺寸碳化硅陶瓷晶舟的断裂韧性、室温抗弯强度、高温抗弯强度的同时，保证高纯度和高致密度，提高可抛光性和导热性。
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公开(公告)号：CN117824316A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410234171.4
申请日：2024-03-01
申请人： 山东华美新材料科技股份有限公司
摘要： 本发明涉及碳化硅陶瓷生产技术领域，尤其涉及一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置。一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，包括有支撑座，所述支撑座固接有第一安装壳，所述第一安装壳转动连接有密封门，所述第一安装壳连通有进风管，所述第一安装壳内侧固接有第二安装壳，所述第二安装壳固接有矩形阵列分布的第一固定板，所述第二安装壳滑动连接有等间距分布的第一滑动板，所述第一固定板与相邻的所述第一滑动板密封滑动连接，所述第一滑动板开设有孔。本发明通过在烘干的过程中第一滑动板的上下滑动，对晶舟下侧的出风位置进行替换，通过第一滑动板和相邻第一固定板的交替支撑，使晶舟在烘干的过程中烘干均匀，防止影响产品质量。
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公开(公告)号：CN118084498B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410509991.X
申请日：2024-04-26
申请人： 山东华美新材料科技股份有限公司
IPC分类号： C04B35/565 , C04B35/622 , C04B35/628 , C04B35/626
摘要： 本发明公开了一种碳化硅陶瓷晶舟的成型方法，属于碳化硅陶瓷技术领域，所述成型方法由以下步骤组成：制备陶瓷粉，成型，一次烧结，真空浸渍，二次烧结；所述制备陶瓷粉，按重量份计，将大粒径碳化硅粉、中粒径碳化硅粉、小粒径碳化硅粉、包覆炭黑、石墨、酚醛树脂、去离子水混合后加入球磨机中进行球磨，得到浆料；对浆料进行喷雾造粒，得到陶瓷粉；本发明的成型方法能够通过降低碳化硅陶瓷晶舟中的游离硅含量，从而提高碳化硅陶瓷晶舟的化学稳定性、高温耐受性，还能够避免成型中的开裂和降低烧结后的尺寸收缩率，同时还能够保证陶瓷晶舟的密度、硬度不发生下降。
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公开(公告)号：CN117805102A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202410231309.5
申请日：2024-03-01
申请人： 山东华美新材料科技股份有限公司
摘要： 本发明公开了涉及晶舟检测技术领域的一种碳化硅陶瓷晶舟影像检测装置。为解决影像检测时，由于人工翻转晶舟时难以保证晶舟始终保持水平状态，导致晶舟的检测结果存在误差的技术问题。包括有底座，所述底座远离所述载物板的一侧滑动连接有伸缩件，所述伸缩件限位密封滑动连接有连接弯块，所述连接弯块转动连接有转动块，所述转动块滑动连接有从动块和主动块，所述从动块和所述主动块远离所述连接弯块的一侧均固接有支杆。本发明通过支杆对晶舟支撑后控制其转动，使晶舟在转动时始终保持水平状态，方便检测头对晶舟的放置槽进行检测，降低了影像检测的误差，同时通过翻转对晶舟的各个位置进行自动化检测，提高了检测效率。
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公开(公告)号：CN116393845A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310670518.5
申请日：2023-06-08
申请人： 山东华美新材料科技股份有限公司
IPC分类号： B23K26/38 , B23K26/70 , B28D1/22 , B28D7/02 , B28D7/04 , B23K103/00 , B23K101/40
摘要： 本发明涉及碳化硅陶瓷加工技术领域，尤其涉及一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备。包括有底架，底架固定连接有过料架和对称分布的立板，对称的立板之间滑动连接有承载板，承载板转动连接有若干个横向排列的第一转柱，横向排列的第一转柱均固定连接有对称分布的支撑杆，底架设置有用于调节第一转柱高度的调节机构，承载板设置有夹持机构。本发明通过调节机构改变支撑杆转动时经过过料架的距离实现对碳化硅陶瓷不同的进给量，以此改变切割过程中碳化硅陶瓷的齿距，增大装置的适用范围；利用夹持机构对碳化硅陶瓷待切割的区域进行夹持，防止在切割过程末端还未完全切割完毕时出现毛刺等影响碳化硅陶瓷后续使用的情况。
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公开(公告)号：CN115466123B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211417061.9
申请日：2022-11-14
申请人： 山东华美新材料科技股份有限公司
IPC分类号： H01L21/673 , C04B35/577 , C04B35/622
摘要： 本发明提供一种碳化硅陶瓷晶舟的制备方法，属于特种陶瓷制品技术领域，包括混合粉体制备，等静压成型，固化烧结纯化，一次浸渍，一次反应烧结，二次浸渍，二次反应烧结七个步骤；本发明制备出了高纯度、高密度、高温抗弯强度优异的碳化硅陶瓷晶舟；本发明制备得到的碳化硅陶瓷晶舟，纯度为99.982~99.991%，密度为3.10~3.13g/cm3，常温抗弯强度为354~370MPa，高温（1400℃）抗弯强度为405~418MPa。
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公开(公告)号：CN116393845B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202310670518.5
申请日：2023-06-08
申请人： 山东华美新材料科技股份有限公司
IPC分类号： B23K26/38 , B23K26/70 , B28D1/22 , B28D7/02 , B28D7/04 , B23K103/00 , B23K101/40
摘要： 本发明涉及碳化硅陶瓷加工技术领域，尤其涉及一种碳化硅陶瓷晶舟切割设备。包括有底架，底架固定连接有过料架和对称分布的立板，对称的立板之间滑动连接有承载板，承载板转动连接有若干个横向排列的第一转柱，横向排列的第一转柱均固定连接有对称分布的支撑杆，底架设置有用于调节第一转柱高度的调节机构，承载板设置有夹持机构。本发明通过调节机构改变支撑杆转动时经过过料架的距离实现对碳化硅陶瓷不同的进给量，以此改变切割过程中碳化硅陶瓷的齿距，增大装置的适用范围；利用夹持机构对碳化硅陶瓷待切割的区域进行夹持，防止在切割过程末端还未完全切割完毕时出现毛刺等影响碳化硅陶瓷后续使用的情况。
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公开(公告)号：CN118084498A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410509991.X
申请日：2024-04-26
申请人： 山东华美新材料科技股份有限公司
IPC分类号： C04B35/565 , C04B35/622 , C04B35/628 , C04B35/626
摘要： 本发明公开了一种碳化硅陶瓷晶舟的成型方法，属于碳化硅陶瓷技术领域，所述成型方法由以下步骤组成：制备陶瓷粉，成型，一次烧结，真空浸渍，二次烧结；所述制备陶瓷粉，按重量份计，将大粒径碳化硅粉、中粒径碳化硅粉、小粒径碳化硅粉、包覆炭黑、石墨、酚醛树脂、去离子水混合后加入球磨机中进行球磨，得到浆料；对浆料进行喷雾造粒，得到陶瓷粉；本发明的成型方法能够通过降低碳化硅陶瓷晶舟中的游离硅含量，从而提高碳化硅陶瓷晶舟的化学稳定性、高温耐受性，还能够避免成型中的开裂和降低烧结后的尺寸收缩率，同时还能够保证陶瓷晶舟的密度、硬度不发生下降。
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公开(公告)号：CN116399287B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202310670519.X
申请日：2023-06-08
申请人： 山东华美新材料科技股份有限公司
IPC分类号： G01B21/30
摘要： 本发明公开了一种液晶玻璃基板制程用碳化硅均温板平面度检测装置，涉及平面度检测技术领域。包括有支撑板，支撑板固接有安装板，安装板固接有支撑架，支撑架安装有电动推杆，电动推杆的伸缩端转动连接有第一检测盘，安装板设置有第二检测盘，第一检测盘与第二检测盘均滑动连接有周向分布的第一检测杆，第二检测盘固接有支撑杆，支撑杆固接有安装盘，安装盘固接有固定环，固定环与第一检测盘均固接有齿圈，支撑板安装有伺服电机，安装板转动连接有转动轴，转动轴固接有对称分布的第一齿轮。本发明通过第一检测盘和第二检测盘同时靠近碳化硅均温板，使第一检测杆同时对碳化硅均温板的上下表面进行平面度检测。
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公开(公告)号：CN116589281A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202310564239.0
申请日：2023-05-18
申请人： 潍坊华美智能科技有限公司 , 山东华美新材料科技股份有限公司
IPC分类号： C04B35/565 , C04B35/622
摘要： 本发明公开一种碳化硅复合材料构件的制备方法，包括：S1：选取碳化硅材料为基体材料、任选碳材料为辅料，酚醛树脂、呋喃树脂、PVA或者PVB中的一种或几种为粘结剂，采用增材制造技术成形所需结构的第一坯体；以及S2：将所述第一坯体浸渍在树脂溶液中。本发明采用3D打印方法，又称增材制造，改进工艺解决大型结构复杂泵用碳化硅复合材料构件的制备，有利于拓展其应用领域并实现工业化大规模生产。
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