发明授权
- 专利标题: 一种碳化硅陶瓷晶舟的成型方法
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申请号: CN202410509991.X申请日: 2024-04-26
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公开(公告)号: CN118084498B公开(公告)日: 2024-07-26
- 发明人: 王明峰 , 王东 , 石金旺 , 李伟强 , 王强 , 石威 , 尹东胜 , 王克 , 王进 , 李雷宽 , 刘爱伟
- 申请人: 山东华美新材料科技股份有限公司
- 申请人地址: 山东省潍坊市坊子区北大营街3号院内
- 专利权人: 山东华美新材料科技股份有限公司
- 当前专利权人: 山东华美新材料科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省潍坊市坊子区北大营街3号院内
- 代理机构: 山东华君知识产权代理有限公司
- 代理商 李欣
- 主分类号: C04B35/565
- IPC分类号: C04B35/565 ; C04B35/622 ; C04B35/628 ; C04B35/626
摘要:
本发明公开了一种碳化硅陶瓷晶舟的成型方法,属于碳化硅陶瓷技术领域,所述成型方法由以下步骤组成:制备陶瓷粉,成型,一次烧结,真空浸渍,二次烧结;所述制备陶瓷粉,按重量份计,将大粒径碳化硅粉、中粒径碳化硅粉、小粒径碳化硅粉、包覆炭黑、石墨、酚醛树脂、去离子水混合后加入球磨机中进行球磨,得到浆料;对浆料进行喷雾造粒,得到陶瓷粉;本发明的成型方法能够通过降低碳化硅陶瓷晶舟中的游离硅含量,从而提高碳化硅陶瓷晶舟的化学稳定性、高温耐受性,还能够避免成型中的开裂和降低烧结后的尺寸收缩率,同时还能够保证陶瓷晶舟的密度、硬度不发生下降。
公开/授权文献
- CN118084498A 一种碳化硅陶瓷晶舟的成型方法 公开/授权日:2024-05-28
IPC分类: