一种碳化硅陶瓷晶舟的成型方法
摘要:
本发明公开了一种碳化硅陶瓷晶舟的成型方法,属于碳化硅陶瓷技术领域,所述成型方法由以下步骤组成:制备陶瓷粉,成型,一次烧结,真空浸渍,二次烧结;所述制备陶瓷粉,按重量份计,将大粒径碳化硅粉、中粒径碳化硅粉、小粒径碳化硅粉、包覆炭黑、石墨、酚醛树脂、去离子水混合后加入球磨机中进行球磨,得到浆料;对浆料进行喷雾造粒,得到陶瓷粉;本发明的成型方法能够通过降低碳化硅陶瓷晶舟中的游离硅含量,从而提高碳化硅陶瓷晶舟的化学稳定性、高温耐受性,还能够避免成型中的开裂和降低烧结后的尺寸收缩率,同时还能够保证陶瓷晶舟的密度、硬度不发生下降。
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