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公开(公告)号:CN1735319A
公开(公告)日:2006-02-15
申请号:CN200510002593.6
申请日:2005-01-21
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H05K3/06 , H05K3/00 , H05K3/42 , G03F7/20 , G03F7/00 , G02B6/02 , G02B27/00 , H01L21/30 , H01J9/02 , H01J29/74
CPC classification number: G03F7/24
Abstract: 光掩模设备、光掩模制造方法和掩模图案形成方法。在掩模的表面涂覆不透光层和抗蚀剂。通过曝光、显影和蚀刻,在所述掩模的表面上形成正/负颠倒的图案。在工件的要形成图案的部分上涂覆不透光层和抗蚀剂。使用可通过连接器进行更换的掩模来进行曝光。将掩模的图案转印到抗蚀剂上,并显影所述抗蚀剂。在显影所述抗蚀剂以后,通过蚀刻,在工件的表面上形成掩模图案。
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公开(公告)号:CN1639476A
公开(公告)日:2005-07-13
申请号:CN03804721.7
申请日:2003-02-27
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G03F7/201 , C23F1/02 , F16C17/026 , F16C17/102 , F16C17/107 , F16C33/107 , F16C33/14 , F16C2223/70 , G03F7/00 , G03F7/2032 , G03F7/24 , Y10T29/49639
Abstract: 本发明涉及一种在轴承的内面形成动压发生槽的动压轴承的制造方法、利用该制造方法制造的动压轴承及动压轴承制造装置。其中,掩模(1)是圆筒状形状,在外周面形成人字槽图形,在凸缘部下面形成螺旋槽图形。把掩模(1)插入动压轴承(2)中,并且在掩模(1)的内部插入光纤(4)。把外部光源的光通过光纤(4)照射在掩模(1)上,把人字槽图形转印在动压轴承(2)的内周面上。同时,从凸缘部上侧照射光,把螺旋槽图形转印在动压轴承(2)的上侧面上。在进行显影后,通过蚀刻在轴承(2)的内周面形成人字槽(21),在上侧面形成螺旋槽(22)。
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公开(公告)号:CN101305426A
公开(公告)日:2008-11-12
申请号:CN200580051739.4
申请日:2005-09-30
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G11B33/12
CPC classification number: G11B5/6005 , G11B5/40 , G11B33/08
Abstract: 提供一种实现了信息存储介质的高速旋转化、保存数据的高记录密度化的信息存储装置。该信息存储装置的特征在于,包括:1个以上的信息存储介质,分别具有盘形状,固定在共同的旋转轴上进行旋转,分别记录信息;头,与所述信息存储介质接近或接触而对该信息存储介质进行信息存取;臂,沿所述信息存储介质的表面延伸,将所述头保持在顶端一侧,以存在于根部一侧的旋转轴为中心而进行旋转;以及阻流板,使所述信息存储介质的相互之间的空气流整流,包括设置在所述存储介质的相互之间的金属制的多个空气流控制板、以及与所述空气流控制板一体成型并将所述空气流控制板保持在所述信息存储介质的相互之间的树脂制支架。
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公开(公告)号:CN100434254C
公开(公告)日:2008-11-19
申请号:CN200510053626.X
申请日:2005-03-09
Applicant: 富士通株式会社
IPC: B29C45/26
CPC classification number: B29C45/4421 , Y10S425/058
Abstract: 一种包括圆筒和直径扩大构件的注塑模具。圆筒包括中孔、开口和外周面,并在其外周面上具有凹陷形成部分,其形状不能沿打开模具的方向从模具中拔模出来,该圆筒的外形在周向上连续。直径扩大构件通过开口进入中孔,以扩大圆筒的外径,并且能够相对地进入或退出中孔。直径扩大构件在模具夹紧时位于中孔中,而在模具打开时退出中孔。圆筒由纵向弹性模量大于预定压力值金属制成,并且当直径扩大构件退出中孔时,通过直径扩大构件的插入而扩大的圆筒的外径减小。
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公开(公告)号:CN1778539A
公开(公告)日:2006-05-31
申请号:CN200510053626.X
申请日:2005-03-09
Applicant: 富士通株式会社
IPC: B29C45/26
CPC classification number: B29C45/4421 , Y10S425/058
Abstract: 一种包括圆筒和直径扩大构件的注塑模具。圆筒包括中孔、开口和外周面,并在其外周面上具有凹陷形成部分,其形状不能沿打开模具的方向从模具中拔模出来。直径扩大构件通过开口进入中孔,以扩大圆筒的外径,并且能够相对地进入或退出中孔。直径扩大构件在模具夹紧时位于中孔中,而在模具打开时退出中孔。圆筒由纵向弹性模量大于预定压力值金属制成,并且当直径扩大构件退出中孔时,通过直径扩大构件的插入而扩大的圆筒的外径减小。
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公开(公告)号:CN100396945C
公开(公告)日:2008-06-25
申请号:CN03804721.7
申请日:2003-02-27
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G03F7/201 , C23F1/02 , F16C17/026 , F16C17/102 , F16C17/107 , F16C33/107 , F16C33/14 , F16C2223/70 , G03F7/00 , G03F7/2032 , G03F7/24 , Y10T29/49639
Abstract: 本发明涉及一种在轴承的内面形成动压发生槽的动压轴承的制造方法、利用该制造方法制造的动压轴承及动压轴承制造装置。其中,掩模(1)是圆筒状形状且由透明材料形成,在外周面形成人字槽图形,在凸缘部下面形成螺旋槽图形。把掩模(1)插入动压轴承(2)中,并且在掩模(1)的内部插入光纤(4)。把外部光源的光通过光纤(4)照射在掩模(1)上,把人字槽图形转印在动压轴承(2)的内周面上。同时,从凸缘部上侧照射光,把螺旋槽图形转印在动压轴承(2)的上侧面上。在进行显影后,通过蚀刻在轴承(2)的内周面形成人字槽(21),在上侧面形成螺旋槽(22)。其中,通过向所述掩模的端部入射激励光并使所述掩模发光来进行所述曝光。
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公开(公告)号:CN1885408A
公开(公告)日:2006-12-27
申请号:CN200510117489.1
申请日:2005-11-02
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G11B25/043 , G11B33/08 , H05K1/0281 , H05K3/0058 , H05K2201/055 , H05K2201/10598 , H05K2201/2009
Abstract: 能够抑制柔性印制电路板的振动的磁记录介质驱动器。磁头致动器部件在末端处支撑着磁头滑动器。第一固定部件在与磁头致动器部件间隔开预定距离的位置处与壳体成一体。第二固定部件牢固地保持柔性印制电路板的折叠部分,以抵靠第一固定部件。这样可靠地防止了柔性印制电路板从第一固定部件或第二固定部件提升。第一固定部件牢固地固定在壳体上。可靠地防止了第一固定部件的移动和摇动。即使磁头致动器部件改变其姿势,也能够可靠地防止柔性印制电路板产生振动。这样磁头滑动器就能够以较高的精度定位在磁记录盘上的目标记录磁道的正上方。能够以高精度来实现磁位数据的读和写。
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