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公开(公告)号：CN1702834A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN200510079088.1
申请日：2003-05-16
IPC: H01L21/00 , H01L21/268 , G02F1/133
Abstract: 由多个激光源所发射的激光束被分为多个子光束，其被照射到一个基片上的无定形半导体的所选择部分上，以使得该无定形半导体结晶化。通过一个光束扩展器纠正在该激光束之间的发散角的差别。本发明的一种用于使半导体结晶化的方法，包括如下步骤：把由多个激光源所发射的激光束通过一个聚焦光学系统照射到的基片上的半导体层上，以使该半导体层熔化和结晶化，其中由该激光源所发射的激光束所形成的多个光点至少部分地相互重叠。
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公开(公告)号：CN1702833A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN200510079087.7
申请日：2003-05-16
IPC: H01L21/00 , H01L21/268 , G02F1/133
Abstract: 由多个激光源所发射的激光束被分为多个子光束，其被照射到一个基片上的无定形半导体的所选择部分上，以使得该无定形半导体结晶化。通过一个光束扩展器纠正在该激光束之间的发散角的差别。该装置包括第一和第二激光源；聚焦光学系统；以及用于把由第一和第二激光源所发射的激光束引导到该聚焦光学系统的组合光学系统；其中该组合光学系统包括置于第一激光源之后的一个λ/2波片、置于第一和第二激光源中至少一个激光源之后的光束扩展器、以及用于把由第一和第二激光源所发射的激光束相组合的偏振分束器。
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公开(公告)号：CN1624874A
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN200410098348.5
申请日：2004-12-03
IPC: H01L21/20 , G02F1/1368 , G09F9/00 , B23K26/00
CPC classification number: H01L21/02683 , B23K26/067 , B23K26/0673 , B23K26/0823 , B23K26/0861 , H01L21/02691 , H01L21/2026 , H01L27/1285
Abstract: 本发明涉及一种即便在使用CW激光时也能实现高生产量的激光结晶设备和激光结晶方法。所述激光结晶设备包含支承上面形成有半导体层的衬底的可移动试样台、以时分方式使激光束导向多个光路的器件，以及向试样台支承的衬底上的半导体层聚光并应用通过光路的激光束的光学器件。使用激光束在一个方向上扫描半导体层的第一个区域，并且使用激光束在相反方向上扫描半导体层的第二个区域。
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公开(公告)号：CN1702832A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN200510079086.2
申请日：2003-05-16
IPC: H01L21/00 , H01L21/268 , G02F1/133
Abstract: 一种使半导体结晶化的装置，包括至少一个激光源；用于把由激光源所发射的激光束分为多个子光束的光束分离装置；用于把子光束聚焦在基片上的无定形半导体上的至少一个聚焦光学系统；用于改变由该聚焦光学系统所形成的子光束的至少两个光点位置之间的距离的运动机构；用于把激光束转向到该聚焦光学系统的第一平面镜；以及被提供在该聚焦光学系统中以接收由第一平面镜所反射的子光束的第二平面镜，其中第一平面镜和第二平面镜之间的子光束与该运动机构的运动方向相平行。
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公开(公告)号：CN1461045A
公开(公告)日：2003-12-10
申请号：CN03131162.8
申请日：2003-05-16
IPC: H01L21/268 , H01L21/00 , G02F1/133
CPC classification number: H01L21/02683 , B23K26/067 , B23K26/0676 , B23K26/08 , B23K26/0884 , B23K2101/006 , B23K2101/40 , C30B13/24 , C30B35/00 , G02B19/0014 , G02B19/0057 , G02B27/144 , G02B27/145 , H01L21/02422 , H01L21/02532 , H01L21/02691 , H01L21/2026 , H01L27/1285 , H01L29/6675 , H01L29/78672 , Y10T29/41
Abstract: 由多个激光源所发射的激光束被分为多个子光束，其被照射到一个基片上的无定形半导体的所选择部分上，以使得该无定形半导体结晶化。通过一个光束扩展器纠正在该激光束之间的发散角的差别。该装置包括一个子光束选择照射系统，该系统包括子光束分离组件和子光束聚焦组件。并且，该装置包括激光源、聚焦光学系统、以及组合光学系统。用于支承基片的平台包括多个第一台部件、置于该第一台部件上方的第二台部件、以及可旋转地置于该第二平台上以支承该无定形半导体的第三台部件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1702831A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN200510079085.8
申请日：2003-05-16
IPC: H01L21/00 , H01L21/268 , G02F1/133
Abstract: 由多个激光源所发射的激光束被分为多个子光束，其被照射到一个基片上的无定形半导体的所选择部分上，以使得该无定形半导体结晶化。本发明的一种用于使半导体结晶化的方法，包括如下步骤：将激光束照射到具有显示区域和围绕该显示区域的外围区域的一个基片上的半导体上，以使该半导体熔化和结晶化；在第一扫描方向上执行外围区域的结晶化；在把支承该基片的可旋转台旋转90度之后，在与第一扫描方向相垂直的第二扫描方向上执行外围区域的结晶化；以及沿着与像素的三原色子像素区域的排列方向相平行的第三扫描方向上执行显示区域的结晶化。
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公开(公告)号：CN1543754A
公开(公告)日：2004-11-03
申请号：CN01823528.X
申请日：2001-08-30
Applicant: 富士通株式会社
Inventor： 佐佐木伸夫
CPC classification number: H01L51/56 , H01L27/3216 , H01L27/3218 , H01L27/3244 , H01L51/0003
Abstract: 在基板(40)上形成与红色、绿色、蓝色对应的槽(3R)、(3G)、(3B)，以使各自的槽(3R)、(3G)、(3B)的前端按上述顺序离基板(40)的边越来越远的方式形成上述的槽(3R)、(3G)、(3B)。将槽(3R)、(3G)、(3B)的前端浸在各自对应的颜色的有机EL溶液(8R)、(8G)、(8B)中，利用毛细管现象在槽(3R)、(3G)、(3B)内充填各自对应的颜色的有机EL溶液(8R)、(8G)、(8B)，来制造全彩色的有机EL显示装置。
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公开(公告)号：CN1437171A
公开(公告)日：2003-08-20
申请号：CN02151369.4
申请日：2002-11-21
Applicant: 富士通株式会社
Inventor： 佐佐木伸夫
CPC classification number: H01L21/02683 , G02F1/1362 , G02F1/1368 , H01L21/2026
Abstract: 本发明提供一种平板显示器以及制造该平板显示器的方法，其中，在用低温多晶硅制造工艺对在基板上形成的非晶硅层进行多晶化时，可提高多晶化的产能。四根门总线集中在垂直箭头所示的预定范围附近。该范围位于第二行像素和第三行像素之间边界的附近，并基本同等地在这些像素组中延伸。多个门总线和TFT中的每四个按行号顺序合并成一组，并且至少TFT集中在各个范围X内，范围X基本上在各个包括四行的像素组的中部延伸。
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公开(公告)号：CN1437061A
公开(公告)日：2003-08-20
申请号：CN02159341.8
申请日：2002-12-26
Applicant: 富士通株式会社
Inventor： 佐佐木伸夫
CPC classification number: G09G3/3659 , G02F1/136286 , G02F2001/136245 , G09G3/3614 , G09G2300/0823 , G09G2310/06
Abstract: 本发明提供了有源矩阵型TFT LCD，其象素TFT的驱动电压降低了。象素由两薄膜晶体管构成，即，一个施加正压的n型TFT和一个施加负压的p型TFT，前者在象素电极上施加数据电压使之具有正极性，后者在象素电极上施加数据电压使之具有负极性。施加正电压TFT的源极与象素电极相连，其漏极与数据总线相连用来加正压；其栅极与栅总线相连用来施加正压。其它TFT的源极也与象素电极相连；其漏极与数据总线相连施加负压；其栅极与栅总线相连用来加负压。
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公开(公告)号：CN1404101A
公开(公告)日：2003-03-19
申请号：CN02141410.6
申请日：2002-08-30
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L21/02683 , H01L21/02532 , H01L21/02595 , H01L21/0262 , H01L21/02691 , H01L21/2026 , H01L29/66757 , H01L29/78675 , Y10S438/949
Abstract: 按照这样一种方式形成一个工作半导体层，使得该无定形硅层形成为具有一个宽区域和一个窄区域，并且该窄区域相对于宽区域位置不对称地连接到该宽区域，并且在作为热保持层的多晶硅层隔着氧化硅层从侧面包住该窄区域的状态下，通过把连续波激光束从宽区域向窄区域扫描，而使该无定形硅层结晶。
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