公开(公告)号：CN103608906A

公开(公告)日：2014-02-26

申请号：CN201280029028.7

申请日：2012-06-08

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 梅田贤一 ,  田中淳 ,  铃木真之 ,  下田达也

IPC: H01L21/368 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786 ,  H01L51/50

CPC classification number: H01L21/02565 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02592 ,  H01L21/02628 ,  H01L22/10 ,  H01L27/14687 ,  H01L27/14698 ,  H01L29/78693 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 非晶质氧化物薄膜的制造方法包括以下步骤：前处理步骤，对包含有机成分及In的第一氧化物前驱物膜，在小于所述有机成分的热分解温度的温度下使所述有机成分的键结状态选择性地变化，而获得第二氧化物前驱物膜，所述第二氧化物前驱物膜在以傅立叶变换型红外光谱法进行测定时所获得的红外线吸收光谱中，将红外线的波数1380cm-1以上、1520cm-1以下的范围分割为红外线的波数1380cm-1以上、1450cm-1以下的范围与红外线的波数超过1450cm-1且1520cm-1以下的范围时，位于红外线的波数1380cm-1以上、1450cm-1以下的范围内的峰值在红外线的波数1350cm-1以上、1750cm-1以下的范围内的红外线吸收光谱中显示最大值；以及后处理步骤，将残存于所述第二氧化物前驱物膜中的所述有机成分去除，使所述第二氧化物前驱物膜转变为包含所述In的非晶质氧化物薄膜。

公开(公告)号：CN103608906B

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201280029028.7

申请日：2012-06-08

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 梅田贤一 ,  田中淳 ,  铃木真之 ,  下田达也

IPC: H01L21/368 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786 ,  H01L51/50

CPC classification number: H01L21/02565 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02592 ,  H01L21/02628 ,  H01L22/10 ,  H01L27/14687 ,  H01L27/14698 ,  H01L29/78693 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种非晶质氧化物薄膜的制造方法及薄膜晶体管，所述非晶质氧化物薄膜的制造方法包括以下步骤：前处理步骤，对包含有机成分及In的第一氧化物前驱物膜，在小于所述有机成分的热分解温度的温度下使所述有机成分的键结状态选择性地变化，而获得特定的第二氧化物前驱物膜；以及后处理步骤，将残存于所述第二氧化物前驱物膜中的所述有机成分去除，使所述第二氧化物前驱物膜转变为包含所述In的非晶质氧化物薄膜。