公开(公告)号：CN117650091A

公开(公告)日：2024-03-05

申请号：CN202311694693.4

申请日：2023-12-11

申请人： 宸微设备科技(苏州)有限公司

发明人： 吴威威 ,  吴跃 ,  王祥

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/687

摘要： 本发明提供了一种可调节的旋转升降机构，包括升降机构、连接件、调整组件和旋转机构；所述升降机构与所述连接件的第一侧壁连接，所述升降机构用于带动所述连接件升降；所述调整组件设于所述连接件上并与所述旋转机构连接，所述调整组件用于带动所述旋转机构在X轴、Y轴和Z轴所在的方向进行位置调整。本发明提供的可调节的旋转升降机构通过设置X轴调整部、Y轴调整部和Z轴调整部，实现对旋转机构在X轴、Y轴和Z轴所在的方向进行位置调整，从而提高了旋转升降设备装配的精准度，保证了旋转升降设备与外部设备连接的同心度，大大提高了旋转升降设备的使用寿命。

公开(公告)号：CN221379308U

公开(公告)日：2024-07-19

申请号：CN202323086533.X

申请日：2023-11-15

申请人： 宸微设备科技(苏州)有限公司

发明人： 吴威威 ,  吴跃 ,  王祥

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677

摘要： 本实用新型提供了一种真空传动装置，通过设置动力装置、和套设在动力装置的转轴上的密封装置；所述密封装置的顶部用于和半导体装置中的处理腔室的底部固定，在动力装置和处理腔室之间的连接处，以及密封装置和处理腔室之间的连接处形成密封，阻止空气进入所述处理腔室内；所述动力装置用于驱动所述转轴相对于所述密封装置发生转动，将动力装置和密封装置集成为真空传动装置，并利用密封装置进行磁密封阻止动力装置所在的大气区域的空气进入所述处理腔室内的真空区域，实现了位于大气区域的动力装置的动力直接传送到半导体装置中的处理腔室的真空区域内，既减少了真空传动装置的体积和能耗，又延长使用寿命，更确保了真空洁净度。