公开(公告)号：CN1306241C

公开(公告)日：2007-03-21

申请号：CN200410011523.2

申请日：2004-12-31

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： 威廉·克莱·施卢赫特尔 ,  路易斯·F·米勒 ,  道格拉斯·P·伍尔韦尔托 ,  杰弗里·A·扬 ,  艾伦·B·雷 ,  戴维·C·楚

IPC: G01B9/02 ,  G03H1/04

CPC classification number: G03F7/70775

Abstract: 本发明公开了用于获取可移动装置相对于特定轴的位置信息的系统和方法。在一个实施例中，干涉仪产生第一光束和第二光束，并且放置各种光束指引部件以定义这两条光束的光束路径片断，但是光束路径片断的长度并没有随可移动装置沿特定轴的位移而一致性地变化。在另一实施例或同一实施例中，第一光束的或射到可移动装置或已从可移动装置反射回的每个光束路径片断对称于第二光束的相应光束路径片断。可移动装置可以是晶片台，其中“特定轴”是投影透镜的曝光轴，但是所有与台协同工作的光学部件都位于晶片台在垂直于光刻曝光轴的方向上的范围之外。

公开(公告)号：CN1987341A

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：CN200610109511.2

申请日：2006-08-02

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： 威廉·R·小图特纳 ,  杰阿英特·欧文 ,  艾伦·B·雷 ,  詹姆斯·普林斯 ,  埃里克·斯蒂芬·约翰斯通 ,  朱淼 ,  来纳德·S·卡特勒

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01D5/266 ,  G01D5/38

Abstract: 本发明公开了用于测量位移的一种装置和方法，包括将光束导向干涉仪核心，所述干涉仪核心将光束分为第一成分光束和第二成分光束。第一成分光束大致以Littrow角导向衍射光栅。衍射光由干涉仪核心接收并与第二成分光束合并。对合并的第一成分光束和第二成分光束进行测量以确定衍射光栅的位移。

公开(公告)号：CN1971202A

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN200610090202.5

申请日：2006-07-05

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： 艾伦·B·雷

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02067 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02051 ,  G01B2290/70

Abstract: 本发明提供了干涉仪和相应的系统，具有几个方面。在第一个方面，提供了一种适于将分离的第一光束和第二光束接收于其中的干涉仪，该干涉仪包括对于第一光束和第二光束基本等效的分离的第一光路和第二光路。在第二个方面，提供了一种适于将第一光束和第二光束作为分离的输入而接收于其中的干涉仪，其中这些光束直到刚刚由干涉仪输出之前都未混合或合并。在第三个方面，提供了一种干涉仪，它具有一个或多个光束阻挡器用于拦截外来的或不期望的光，并防止这些光混入各光束或与之干涉。

公开(公告)号：CN1657865A

公开(公告)日：2005-08-24

申请号：CN200410011523.2

申请日：2004-12-31

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： 威廉·克莱·施卢赫特尔 ,  路易斯·F·米勒 ,  道格拉斯·P·伍尔韦尔托 ,  杰弗里·A·扬 ,  艾伦·B·雷 ,  戴维·C·楚

IPC: G01B9/025 ,  G01B9/02 ,  G03H1/04

CPC classification number: G03F7/70775

Abstract: 本发明公开了用于获取可移动装置相对于特定轴的位置信息的系统和方法。在一个实施例中，干涉仪产生第一光束和第二光束，并且放置各种光束指引部件以定义这两条光束的光束路径片断，但是光束路径片断的长度并没有随可移动装置沿特定轴的位移而一致性地变化。在另一实施例或同一实施例中，第一光束的或射到可移动装置或已从可移动装置反射回的每个光束路径片断对称于第二光束的相应光束路径片断。可移动装置可以是晶片台，其中“特定轴”是投影透镜的曝光轴，但是所有与台协同工作的光学部件都位于晶片台在垂直于光刻曝光轴的方向上的范围之外。