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公开(公告)号：CN1306241C
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200410011523.2
申请日：2004-12-31
Applicant: 安捷伦科技有限公司
Inventor： 威廉·克莱·施卢赫特尔 , 路易斯·F·米勒 , 道格拉斯·P·伍尔韦尔托 , 杰弗里·A·扬 , 艾伦·B·雷 , 戴维·C·楚
CPC classification number: G03F7/70775
Abstract: 本发明公开了用于获取可移动装置相对于特定轴的位置信息的系统和方法。在一个实施例中，干涉仪产生第一光束和第二光束，并且放置各种光束指引部件以定义这两条光束的光束路径片断，但是光束路径片断的长度并没有随可移动装置沿特定轴的位移而一致性地变化。在另一实施例或同一实施例中，第一光束的或射到可移动装置或已从可移动装置反射回的每个光束路径片断对称于第二光束的相应光束路径片断。可移动装置可以是晶片台，其中“特定轴”是投影透镜的曝光轴，但是所有与台协同工作的光学部件都位于晶片台在垂直于光刻曝光轴的方向上的范围之外。
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公开(公告)号：CN1727837A
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：CN200510076692.9
申请日：2005-06-13
Applicant: 安捷伦科技有限公司
Inventor： 凯文·R·费恩 , 格雷格·C·菲利克斯 , 约翰·J·伯克曼 , 道格拉斯·P·伍尔韦尔托
CPC classification number: G01J9/0215 , G01B9/02003 , G01B9/02018 , G01B9/02051 , G01B2290/70 , G01J2009/0261
Abstract: 本发明公开了一种产生期望的光束模式的差分干涉仪。干涉仪系统包括菱形组件，该组件具有第一光学堆和安装在第一堆上的第二光学堆。第一堆包括具有斜面的第一棱镜，该斜面安装到第二棱镜的斜面上。这些斜面之间的界面包括第一偏振分束器。第二堆包括具有斜面的第三棱镜，该斜面安装到第四棱镜的斜面上。这些斜面之间的界面包括第二偏振分束器。第一、第二、第三和第四波片元件位于菱形组件与测量光学元件和参考光学元件中至少一个之间的光束路径中。重定向光学元件至少与第一和第三棱镜的垂直面相邻。
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公开(公告)号：CN1657865A
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：CN200410011523.2
申请日：2004-12-31
Applicant: 安捷伦科技有限公司
Inventor： 威廉·克莱·施卢赫特尔 , 路易斯·F·米勒 , 道格拉斯·P·伍尔韦尔托 , 杰弗里·A·扬 , 艾伦·B·雷 , 戴维·C·楚
CPC classification number: G03F7/70775
Abstract: 本发明公开了用于获取可移动装置相对于特定轴的位置信息的系统和方法。在一个实施例中，干涉仪产生第一光束和第二光束，并且放置各种光束指引部件以定义这两条光束的光束路径片断，但是光束路径片断的长度并没有随可移动装置沿特定轴的位移而一致性地变化。在另一实施例或同一实施例中，第一光束的或射到可移动装置或已从可移动装置反射回的每个光束路径片断对称于第二光束的相应光束路径片断。可移动装置可以是晶片台，其中“特定轴”是投影透镜的曝光轴，但是所有与台协同工作的光学部件都位于晶片台在垂直于光刻曝光轴的方向上的范围之外。
