三维微纳米接触扫描探头

    公开(公告)号:CN202350746U

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN201120421888.8

    申请日:2011-10-28

    IPC分类号: G01B11/03 B81B1/00 B82Y15/00

    摘要: 本实用新型公开了一种三维微纳米接触扫描探头,其特征是在前段圆筒内,迈克尔逊干涉仪固定设置在安装盒中;在后段圆筒中,二维角度传感器固定安装在安装板上;在前段圆筒的前端面上设置一固定圆环,在固定圆环的中央设置十字悬浮片,十字悬浮片中各悬臂通过各悬臂簧片与固定圆环相连接,形成悬浮结构;在十字悬浮片上分别设置一中央平面反光镜和至少一个悬臂平面反光镜;迈克尔逊干涉仪的出射光投射在中央平面反光镜上,二维角度传感器的出射光投射在悬臂平面反射镜上;在十字悬浮片朝向筒体外的一侧平面上,扫描探针固定安装在十字悬浮片的中心。本实用新型能够获得大量程、高精度、高灵敏度和小测力的探测效果。