一种ppm级二甲醚标准混气配置装置及方法

    公开(公告)号:CN112129799B

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202010796075.0

    申请日:2020-08-10

    Abstract: 本发明提供一种ppm级二甲醚标准混气配置装置及方法,用采气袋收集高纯度的二甲醚,连接混气配气系统,用底气置换干净各个管路,打开事先用底气置换好的且处于真空状态的标气瓶,用负压把二甲醚压入标气瓶,再用底气置换管路3次,最后补入底气至设定的压力,完成ppm级标气配置;操作简单、配置精度高、可配置多种ppm级浓度的标准气体。

    一种MO源持续供应装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118932313A

    公开(公告)日:2024-11-12

    申请号:CN202411078858.X

    申请日:2024-08-07

    Abstract: 本发明涉及MO源供应技术领域,具体涉及一种MO源持续供应装置,包括MO源储罐以及MO源钢瓶,所述MO源储罐所处的温度为第一温度,所述MO源钢瓶放置在水浴槽内,且MO源钢瓶所处的温度为第二温度,且第一温度低于或等于第二温度。本发明通过设置大罐的温度低于或等于小罐的温度,使得在向MOCVD设备提供MO源时,经大罐后载气携带的MO源量小于经小罐后载气携带的MO源量,这样在保证优先消耗大罐的同时,小罐作为补偿源也在同步消耗MO源,保证了两个储罐内MO源液位同步下降,避免储罐液位上升带来可能的液态MO源直接通过管道压出并进入MOCVD系统内,会造成设备终端安全事故发生。

    一种二氯硅烷精馏提纯装置

    公开(公告)号:CN222841528U

    公开(公告)日:2025-05-09

    申请号:CN202421617787.1

    申请日:2024-07-10

    Abstract: 本实用新型公开了一种二氯硅烷精馏提纯装置,包括精馏塔,精馏塔安装在外界设备上,所述精馏塔上设置有取样机构,所述取样机构包括承接机构、取样管、单向机构、调节管、推杆、回程簧、中间杆和密封块,所述承接机构安装在精馏塔上,所述取样管设置有多个,且多个所述取样管分别连通在精馏塔上,取样机构的设置,特别是承接机构和取样管的设计,为二氯硅烷精馏提纯装置提供了灵活且方便的取样功能,通过承接机构的安装,操作者可以轻松地进入精馏塔进行取样操作,取样管的设置使得操作者能够在不同位置进行取样,以获取精馏塔内不同高度的成分信息,这种设计不仅提高了取样的便利性,还确保了取样结果的准确性和及时性。

    一种三乙基锑纯化装置
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN221491490U

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202420060314.X

    申请日:2024-01-10

    Abstract: 本实用新型涉及化工生产纯化技术领域,具体涉及一种三乙基锑纯化装置,包括精馏底釜,且精馏底釜的顶部安装有精馏塔,所述精馏塔的出口端通过管道连接件连接有冷凝器a,所述冷凝器a的出口通过两个管道连接件分别连接有精馏馏分收集罐和冷凝器b,且冷凝器b相对于冷凝器a为串联设置,所述冷凝器b的出口通过管道连接件连接有溶剂接收罐。本实用型通过将冷凝器a和冷凝器b串联的方式,真空泵将回流的溶剂从冷凝器a3抽至冷凝器b4,最后到溶剂接收罐中储存,从而将溶剂在精馏回流的时候吸收到溶剂接收罐中,不再回流到精馏底釜内,达到溶剂与三乙基锑彻底分离,并减少前馏分的收集,使得不仅提高了三乙基锑的纯度,而且还增加了精馏的收率。

Patent Agency Ranking