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公开(公告)号:CN118932313A
公开(公告)日:2024-11-12
申请号:CN202411078858.X
申请日:2024-08-07
Applicant: 安徽亚格盛电子新材料股份有限公司 , 全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
IPC: C23C16/448 , C23C16/455 , C30B25/14
Abstract: 本发明涉及MO源供应技术领域,具体涉及一种MO源持续供应装置,包括MO源储罐以及MO源钢瓶,所述MO源储罐所处的温度为第一温度,所述MO源钢瓶放置在水浴槽内,且MO源钢瓶所处的温度为第二温度,且第一温度低于或等于第二温度。本发明通过设置大罐的温度低于或等于小罐的温度,使得在向MOCVD设备提供MO源时,经大罐后载气携带的MO源量小于经小罐后载气携带的MO源量,这样在保证优先消耗大罐的同时,小罐作为补偿源也在同步消耗MO源,保证了两个储罐内MO源液位同步下降,避免储罐液位上升带来可能的液态MO源直接通过管道压出并进入MOCVD系统内,会造成设备终端安全事故发生。
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公开(公告)号:CN119306771A
公开(公告)日:2025-01-14
申请号:CN202411420525.0
申请日:2024-10-12
Applicant: 安徽亚格盛电子新材料股份有限公司 , 全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
IPC: C07F17/00
Abstract: 本发明公开了三(异丙基环戊二烯基)镧的合成方法,包括以下步骤:三氯化镧四氢呋喃配合物的制备;异丙基环戊二烯的合成;三(异丙基环戊二烯基)镧的合成。本技术方案通过先制备三氯化镧四氢呋喃配合物,再依次与二甲氨基锂、异丙基环戊二烯反应,得到目标产品。反应原料简单易得,操作方便,安全系数高,收率高,适合工业化放大生产。
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公开(公告)号:CN117126210A
公开(公告)日:2023-11-28
申请号:CN202311079368.7
申请日:2023-08-25
Applicant: 安徽亚格盛电子新材料有限公司 , 全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
IPC: C07F17/02
Abstract: 本发明涉及金属有机源合成领域,尤其涉及一种二羰基环戊二烯基钴的制备方法,包括以下步骤:在惰性气体的保护下向反应瓶中加入原料八羰基二钴和四氢呋喃溶剂,搭常压回流装置,开启搅拌;将环戊二烯基钠的四氢呋喃溶液滴加到反应瓶中,滴加完毕后,保持70~80℃搅拌反应6~10h;搅拌回流结束后先常压蒸馏将溶剂四氢呋喃蒸出;再改搭减压蒸馏装置,减压蒸馏得到二羰基环戊二烯基钴粗品;所得二羰基环戊二烯基钴粗品经过减压精馏得到二羰基环戊二烯基钴成品;上述所有步骤均在惰性气体的环境下进行。该制备方法合成路线简单,原料易得,反应时间短,合成效率高,产品收率高,原料残留少,产品纯度高,可用于工业化生产,能够满足日益增长的市场需求。
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